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Teilvorhaben: Erstellung PECVD-Plasmareaktor und Analyse des Plasmaprozesses innerhalb des Verbundprojektes: "Simulation - Plasma - Analytik - Experiment: Hocheffiziente Vakuumbeschichtungen von passivierenden Schichtsystemen auf c-Si Solarzellen" : Kurzbezeichnung: SIMPLEX : Schlussbericht zum BMWi-Projekt : Projektlaufzeit: 01.10.2014 bis 30.09.2017 (Kostenneutral verlängert bis 31.12.2017) / Projektdurchführung: SINGULUS TECHNOLOGIES AG ; Projektleiter: Dr. Bernhard Cord (01.10.2014-28.02.2017), Dr. Frank May (01.03.214-31.12.2018) ; Autoren: Dr. Frank May, Dr. Bernhard Cord

PPN (Catalogue-ID): 1028989199
Personen: Cord, Bernhard [Mitwirkender]
May, Frank [Mitwirkender]
Cooperations/Conferences: Singulus Technologies AG [Herausgebendes Organ]
Format: eBook eBook
Language: German
Published: Kahl am Main, SINGULUS TECHNOLOGIES AG, 2018-06-27
Basisklassifikation: 33.77 Dielektrika
52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
33.68 Oberflächen Dünne Schichten Grenzflächen
33.09 Physik unter besonderen Bedingungen
Formangabe: Forschungsbericht
Notes: Förderkennzeichen BMWi 0325754A. - Verbund-Nummer 01154817
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Physical Description: 1 Online-Ressource (37 Seiten, 1,71 MB), Illustrationen, Diagramme.

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