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Verbundprojekt: Entwicklung hocheffizienter kostengünstiger Vakuum-Beschichtungsverfahren mit höchstem Durchsatz - Simulation, Experiment, Charakterisierung, Kostenrechnung (SIMPLEX) : Teilprojekt: Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten : Abschlussbericht für den Zeitraum 01.10.2014 bis 31.03.2018 (inklusive der kostenneutralen Verlängerung) / SENTECH Instruments GmbH ; Projektleiter: Dipl.-Phys. Uwe Richter

PPN (Catalogue-ID): 103130438X
Nebentitel: Teilprojekt "Monitoring des Schichtwachstums ultradünner dielektrischer Schichten" im Verbundprojekt "Entwicklung hocheffizienter kostengünstiger Vakuum-Beschichtungsverfahren mit höchstem Durchsatz - Simulation, Experiment, Charakterisierung, Kostenrechnung (SIMPLEX)"
Personen: Richter, Uwe [VerfasserIn]
Cooperations/Conferences: Sentech Instruments GmbH [Herausgebendes Organ]
Format: eBook eBook
Language: German
Published: [Berlin], [SENTECH Instruments GmbH], 18.07.2018
Basisklassifikation: 33.77 Dielektrika
52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
33.68 Oberflächen Dünne Schichten Grenzflächen
33.09 Physik unter besonderen Bedingungen
Formangabe: Forschungsbericht
Notes: Förderkennzeichen BMWi 0325754C. - Verbund-Nummer 01154817
Projektleiter ist laut Berichtsblatt Autor
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Physical Description: 1 Online-Ressource (25 Seiten, 1,55 MB), Illustrationen, Diagramme.

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