schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik / Jens Hirsch

PPN (Catalogue-ID): 1047279916
Personen: Hirsch, Jens [VerfasserIn]
Cooperations/Conferences: Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg [Grad-verleihende Institution]
Format: Book Book
Language: German
Published: Halle (Saale), Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS, Juli 2018
Hochschule: Dissertation, Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg, 2018
Basisklassifikation: 33.68
33.80
53.36
Subjects:

Plasmaätzen / Fotovoltaik / Entspiegeln / Reflexionskoeffizient / Siliciumnitrid / Elektronenmikroskopie

Formangabe: Hochschulschrift
Notes: Literaturverzeichnis Seite 101-108
Tag der öffentlichen Verteidigung: 13. Juli 2018
Physical Description: 111 Seiten, Illustrationen, Diagramme.
Link: Inhaltsverzeichnis

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 04721cam a2201021 4500
001 1047279916
003 DE-627
005 20191115215116.0
007 tu
008 190124s2018 xx ||||| m 00| ||ger c
035 |a (DE-627)1047279916 
035 |a (DE-599)GBV1047279916 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rda 
041 |a ger 
044 |c XA-DE-ST 
084 |a 33.68  |2 bkl 
084 |a 33.80  |2 bkl 
084 |a 53.36  |2 bkl 
088 |a 594/2018 
100 1 |a Hirsch, Jens  |d 1985-  |e verfasserin  |0 (DE-588)1192353587  |0 (DE-627)1670695859  |4 aut 
245 1 0 |a Induktiv gekoppelte maskenlose Plasmatexturierung von kristallinem Silizium durch SF6/O2 für die industrielle Photovoltaik  |c Jens Hirsch 
264 1 |a Halle (Saale)  |b Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS  |c Juli 2018 
300 |a 111 Seiten  |b Illustrationen, Diagramme 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a ohne Hilfsmittel zu benutzen  |b n  |2 rdamedia 
338 |a Band  |b nc  |2 rdacarrier 
500 |a Literaturverzeichnis Seite 101-108 
500 |a Tag der öffentlichen Verteidigung: 13. Juli 2018 
502 |b Dissertation  |c Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg  |d 2018 
591 |a 594/2018 ist keine Serienzählung, sondern nur eine Reportnr. (GBV) 
655 7 |a Hochschulschrift  |0 (DE-588)4113937-9  |0 (DE-627)105825778  |0 (DE-576)209480580  |2 gnd-content 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)4174821-9  |0 (DE-627)105369160  |0 (DE-576)209959479  |a Plasmaätzen  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4121476-6  |0 (DE-627)104790911  |0 (DE-576)209543612  |a Fotovoltaik  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)7544627-3  |0 (DE-627)516881590  |0 (DE-576)257738924  |a Entspiegeln  |2 gnd 
689 0 3 |D s  |0 (DE-588)4177334-2  |0 (DE-627)105349364  |0 (DE-576)209976918  |a Reflexionskoeffizient  |2 gnd 
689 0 4 |D s  |0 (DE-588)4127841-0  |0 (DE-627)105721697  |0 (DE-576)209596996  |a Siliciumnitrid  |2 gnd 
689 0 5 |D s  |0 (DE-588)4014327-2  |0 (DE-627)106340549  |0 (DE-576)208907351  |a Elektronenmikroskopie  |2 gnd 
689 0 |5 (DE-627) 
710 2 |a Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg  |e Grad-verleihende Institution  |0 (DE-588)2024276-1  |0 (DE-627)102158991  |0 (DE-576)191768898  |4 dgg 
751 |a Halle (Saale)  |0 (DE-588)4023025-9  |0 (DE-627)104745673  |0 (DE-576)208947132  |4 uvp 
856 4 2 |u https://www.gbv.de/dms/tib-ub-hannover/1047279916.pdf  |m V:DE-601  |m B:DE-89  |q pdf/application  |v 2019-11-15  |3 Inhaltsverzeichnis 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV_ILN_64 
912 |a GBV_ILN_65 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_2006 
912 |a GBV_ILN_2014 
912 |a GBV_ILN_2015 
912 |a GBV_ILN_2027 
936 b k |a 33.68  |j Oberflächen  |j Dünne Schichten  |j Grenzflächen  |x Physik  |0 (DE-627)10640444X 
936 b k |a 33.80  |j Plasmaphysik  |0 (DE-627)106408046 
936 b k |a 53.36  |j Energiedirektumwandler  |j elektrische Energiespeicher  |0 (DE-627)106418645 
951 |a BO 
980 |2 20  |1 01  |b 3526644039  |f MAG  |d 4566-7903  |l ACQ  |x 0084  |y k  |z 24-10-19 
980 |2 23  |1 01  |b 3521062546  |f 21  |d 2132-8305  |e u  |x 0830  |y z  |z 10-10-19 
980 |2 30  |1 01  |b 3539578641  |d Da 114193  |e u  |x 0104  |y z  |z 13-11-19 
980 |2 64  |1 01  |b 1843355957  |l 3/To  |x 3064  |y x  |z 24-01-19 
980 |2 65  |1 01  |b 1843355639  |d 19 A 125  |e u  |x 0003  |y z3n  |z 04-02-19 
980 |2 65  |1 02  |b 1843355647  |d 19 A 125 a  |e i  |x 0003  |y k3  |z 24-01-19 
980 |2 70  |1 01  |b 3504736941  |d H 19 B 1006  |e u  |x 0089  |y z  |z 06-08-19 
980 |2 70  |1 02  |b 3509897889  |d H 19 B 1006 a  |e u  |x 0089  |y z  |z 30-08-19 
980 |2 2006  |1 01  |b 3512060633  |x 20301  |y l01  |z 05-09-19 
980 |2 2014  |1 01  |b 3516326069  |d 2019 A 1774  |x 20592  |y l01  |z 17-09-19 
980 |2 2015  |1 01  |b 3481012950  |x 20593  |y l01  |z 04-06-19 
980 |2 2027  |1 01  |b 3527293094  |d 19.2993 8.  |x 20810  |y l01  |z 25-10-19 
982 |2 64  |1 00  |8 00  |0 (DE-601)523243634  |a Institut für Physik <Halle, Saale> 
982 |2 64  |1 00  |8 01  |0 (DE-601)355383551  |a Promotion 
983 |2 64  |1 01  |8 99  |a j2018 
983 |2 2027  |1 01  |8 00  |0 (DE-627)1292463244  |a DK 546.28 
983 |2 2027  |1 01  |8 00  |0 (DE-627)1292720948  |a DK 548.735 
983 |2 2027  |1 01  |8 00  |0 (DE-627)1292103035  |a DK 621.793/.795 
983 |2 2027  |1 01  |8 00  |0 (DE-627)1680071602  |a DK 621.794.1 
983 |2 2027  |1 01  |8 00  |0 (DE-627)1292712775  |a DK 620.183.2 
983 |2 2027  |1 01  |8 00  |0 (DE-627)1292227842  |a DK 533.9 
983 |2 2027  |1 01  |8 00  |0 (DE-627)1293422967  |a DK 621.383 
983 |2 2027  |1 01  |8 00  |0 (DE-627)129278105X  |a DK 378.245 
984 |2 20  |1 01  |a 84$045667903 
984 |2 23  |1 01  |a 830$21328305 
984 |2 30  |1 01  |a 104$08277850 
984 |2 65  |1 01  |a 3$007728654 
984 |2 65  |1 02  |a 3$007724527 
984 |2 70  |1 01  |a 89$142113549 
984 |2 70  |1 02  |a 89$142115568 
985 |2 23  |1 01  |a 2019-01513