schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Growth of atomic layer deposited ruthenium and its optical properties at short wavelengths using Ru(EtCp)2 and oxygen / Robert Müller, Lilit Ghazaryan, Paul Schenk, Sabrina Wolleb, Vivek Beladiya, Felix Otto, Norbert Kaiser, Andreas Tünnermann, Torsten Fritz and Adriana Szeghalmi

atomic layer deposition; sputtering; ruthenium; thin film; optical properties; structural properties; soft X-ray; XUV

PPN (Catalogue-ID): 1054638802
Journal Title: Coatings
Personen: Müller, Robert [VerfasserIn]
Ghazaryan, Lilit [VerfasserIn]
Schenk, Paul [VerfasserIn]
Wolleb, Sabrina [VerfasserIn]
Beladiya, Vivek [VerfasserIn]
Otto, Felix [VerfasserIn]
Kaiser, Norbert [VerfasserIn]
Tünnermann, Andreas [VerfasserIn]
Fritz, Torsten [VerfasserIn]
Szeghalmi, Adriana [VerfasserIn]
Format: Article Article
Language: English
Published: 20. November 2018
Physical Description: Diagramme.
Enthaltenes Werk
Gesamtaufnahme:
Enthalten in Coatings Basel : MDPI, 2011 , Artikel 413
ISSN: 2079-6412

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 02565nab a2200709 4500
001 1054638802
003 DE-627
005 20190223144726.0
007 cr uuu---uuuuu
008 190223s2018 xx |||||o 00| ||eng c
024 7 |a 10.3390/coatings8110413  |2 doi 
035 |a (DE-627)1054638802 
035 |a (DE-599)GBV1054638802 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rda 
041 |a eng 
100 1 |a Müller, Robert  |e verfasserin  |4 aut 
245 1 0 |a Growth of atomic layer deposited ruthenium and its optical properties at short wavelengths using Ru(EtCp)2 and oxygen  |c Robert Müller, Lilit Ghazaryan, Paul Schenk, Sabrina Wolleb, Vivek Beladiya, Felix Otto, Norbert Kaiser, Andreas Tünnermann, Torsten Fritz and Adriana Szeghalmi 
264 1 |c 20. November 2018 
300 |b Diagramme 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a Computermedien  |b c  |2 rdamedia 
338 |a Online-Ressource  |b cr  |2 rdacarrier 
520 |a atomic layer deposition; sputtering; ruthenium; thin film; optical properties; structural properties; soft X-ray; XUV 
700 1 |a Ghazaryan, Lilit  |e verfasserin  |4 aut 
700 1 |a Schenk, Paul  |e verfasserin  |4 aut 
700 1 |a Wolleb, Sabrina  |e verfasserin  |4 aut 
700 1 |a Beladiya, Vivek  |e verfasserin  |4 aut 
700 1 |a Otto, Felix  |e verfasserin  |4 aut 
700 1 |a Kaiser, Norbert  |e verfasserin  |4 aut 
700 1 |a Tünnermann, Andreas  |e verfasserin  |4 aut 
700 1 |a Fritz, Torsten  |e verfasserin  |4 aut 
700 1 |a Szeghalmi, Adriana  |e verfasserin  |4 aut 
773 0 8 |i Enthalten in  |t Coatings  |d Basel : MDPI, 2011  |g Artikel 413  |h Online-Ressource  |w (DE-627)718627636  |w (DE-600)2662314-6  |w (DE-576)36541381X  |x 2079-6412 
856 4 0 |u https://doi.org/10.3390/coatings8110413 
912 |a GBV_ILN_31 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a GBV_ILN_22 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV_ILN_24 
912 |a GBV_ILN_40 
912 |a GBV_ILN_60 
912 |a GBV_ILN_62 
912 |a GBV_ILN_65 
912 |a GBV_ILN_69 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_73 
912 |a GBV_ILN_95 
912 |a GBV_ILN_105 
912 |a GBV_ILN_110 
912 |a GBV_ILN_161 
912 |a GBV_ILN_170 
912 |a GBV_ILN_285 
912 |a GBV_ILN_293 
912 |a GBV_ILN_602 
936 u w |d 8  |j 2018  |e 11  |h 1-13  |y Artikel 413 
951 |a AR 
952 |d 8  |j 2018  |e 11  |h 1-13  |y Artikel 413 
980 |2 31  |1 01  |b 1855618516  |x 0027  |y x  |z 23-02-19 
981 |2 31  |1 01  |r https://doi.org/10.3390/coatings8110413 
982 |2 31  |1 01  |8 00  |a OA-Förderung