schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Principles of plasma discharges and materials processing / Michael A. Lieberman; Allan J. Lichtenberg

PPN (Catalogue-ID): 171855388
Personen: Lieberman, Michael A.
Lichtenberg, Allan J.
Format: Book Book
Language: English
Published: New York, NY [u.a.], Wiley, 1994
Series: A Wiley-Interscience Publication
Basisklassifikation: 52.78
33.80
33.68
Subjects:

Surfaces

Plasmadynamik / Dünnschichttechnik / Plasmastrahlbearbeitung / Plasmaätzen

Notes: Literaturverz. S. 559 - 564
Physical Description: XXVI, 572 S, graph. Darst.
ISBN: 0-471-00577-0

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 04899cam a2201153 4500
001 171855388
003 DE-627
005 20180317164353.0
007 tu
008 941122s1994 xx ||||| 00| ||eng c
016 7 |a 0471005770  |2 UK 
020 |a 0471005770  |c (: £ 54.00)  |9 0-471-00577-0 
035 |a (DE-627)171855388 
035 |a (DE-599)GBV171855388 
035 |a (OCoLC)832195174 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a eng 
044 |c XD-US  |c XA-GB  |c XE-AU 
050 0 |a QC718.5.D9 
082 0 |a 530.44 
082 0 |a 530.4/4  |q OCLC 
084 |a 52.78  |2 bkl 
084 |a 33.80  |2 bkl 
084 |a 33.68  |2 bkl 
100 1 |a Lieberman, Michael A. 
245 1 0 |a Principles of plasma discharges and materials processing  |c Michael A. Lieberman; Allan J. Lichtenberg 
264 1 |a New York, NY [u.a.]  |b Wiley  |c 1994 
300 |a XXVI, 572 S  |b graph. Darst 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a ohne Hilfsmittel zu benutzen  |b n  |2 rdamedia 
338 |a Band  |b nc  |2 rdacarrier 
490 0 |a A Wiley-Interscience Publication 
500 |a Literaturverz. S. 559 - 564 
653 0 |a Surfaces 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)4123952-0  |0 (DE-627)105751324  |0 (DE-576)209564059  |a Plasmadynamik  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4136339-5  |0 (DE-627)105658251  |0 (DE-576)209668350  |a Dünnschichttechnik  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)4136199-4  |0 (DE-627)105659320  |0 (DE-576)209667133  |a Plasmastrahlbearbeitung  |2 gnd 
689 0 3 |D s  |0 (DE-588)4174821-9  |0 (DE-627)105369160  |0 (DE-576)209959479  |a Plasmaätzen  |2 gnd 
689 0 |5 (DE-627) 
700 1 |a Lichtenberg, Allan J.  |4 aut 
856 4 2 |u http://www.loc.gov/catdir/toc/onix03/94028954.html  |x Verlag  |y Table of Contents 
856 4 2 |u http://www.loc.gov/catdir/description/wiley032/94028954.html  |x Verlag  |y Publisher description 
856 4 2 |u http://www.loc.gov/catdir/bios/wiley041/94028954.html  |x Verlag  |y Contributor biographical information 
912 |a GBV_ILN_22 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV_ILN_22_i04712 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV_ILN_24 
912 |a GBV_ILN_24_f062 
912 |a GBV_ILN_32 
912 |a GBV_ILN_40 
912 |a GBV_ILN_69 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_100 
912 |a GBV_ILN_120 
936 b k |a 52.78  |j Oberflächentechnik  |j Wärmebehandlung  |0 (DE-627)106421395 
936 b k |a 33.80  |j Plasmaphysik  |0 (DE-627)106408046 
936 b k |a 33.68  |j Oberflächen  |j Dünne Schichten  |j Grenzflächen  |x Physik  |0 (DE-627)10640444X 
951 |a BO 
980 |2 22  |1 01  |b 295119039  |f 18/47-a  |d 52.00 Lieb  |e i  |x 0018  |y zi04712  |z 07-09-98 
980 |2 22  |1 02  |b 367162237  |f SUB  |d A 1999/13838  |e u  |x 0018  |y zu  |z 15-03-00 
980 |2 23  |1 01  |b 163928800  |f 27  |d 2764-1073  |e u  |x 0830  |y zu  |z 27-03-95 
980 |2 24  |1 01  |b 096853638  |f 8/62  |d 54.0 Lie 1  |e i  |h sh  |x 0008  |y zf062  |z 27-03-95 
980 |2 24  |1 02  |b 401085333  |f 8/62  |d 54.0 Lie 1 A  |e i  |h sh  |x 0008  |y zf062  |z 23-08-00 
980 |2 32  |1 01  |b 147521912  |f 93  |d ELT 3563  |e u  |l ;1=Quelle bnb... ;2=Ex 1... ;2.1=... ;2.2=... ;2.3=... ;2.4=... ;3=Preis $69,95... ;4=UK c54... ;5=Sto 57=WER... ;5.1=... ;5.2=... ;5.3=... ;5.4=... ;6=vhd FremdL b... ;8=RechnNr M084026... ;9=RechnDat 30.11.95... ;10=Rabatt %25... ;11=BestDat 3.12.94... ;12=BestArt ... ;13=Lief 685... ;14=Bemerk ... ;7=BearbSt ...  |x 3400  |y k  |z 15-11-00 
980 |2 40  |1 01  |b 168244888  |f BBP  |d RO 000 = 96 A 1255  |e u  |d 96 A 1255  |x 7/15  |y xsn  |z 02-08-96 
980 |2 69  |1 01  |b 369270134  |f UB 660  |d 660/UR 8000 L716  |e u  |x 0009  |y zi807  |z 22-08-99 
980 |2 70  |1 01  |b 147833051  |f Haus2  |d T 95 B 3936  |x 0089  |y z  |z 11-05-95 
980 |2 100  |1 01  |b 148908578  |f FH  |d 1995 a 1493:1  |e u  |x 3100  |y k  |z 15-01-04 
980 |2 100  |1 02  |b 153618590  |f FH  |d 1995 a 1493:2  |e u  |x 3100  |y k  |z 26-04-07 
980 |2 120  |1 01  |b 785985077  |d phy 398 CA 9202  |e u  |h alma  |x 0715  |y z  |z 21-03-02 
982 |2 22  |1 01  |8 00  |a Plasmaentladung 
983 |2 32  |1 00  |8 00  |a 23380c Halbleitertechnologie 
983 |2 32  |1 00  |8 01  |a 13330c Elektrische Entladung 
983 |2 40  |1 00  |8 00  |0 (DE-601)621338389  |a ROS 000  |b Plasma-Dynamik {Plasmaphysik} 
983 |2 40  |1 00  |8 01  |0 (DE-601)621384127  |a SL 000  |b Physik und Chemie von Oberflächen und Grenzflächen 
983 |2 40  |1 00  |8 99  |a ZZ NAT phy x 
983 |2 69  |1 00  |8 00  |a UR 8000 
983 |2 100  |1 00  |8 00  |a D. 382.4 
983 |2 120  |1 00  |8 00  |a phy 398 
983 |2 120  |1 01  |8 00  |a phy 398 
984 |2 22  |1 02  |a 9941138386 
984 |2 23  |1 01  |a 830$27641073  |x 00 
984 |2 32  |1 01  |a ILM1$005248485 
984 |2 40  |1 01  |a 7$204360897  |x 00 
984 |2 69  |1 01  |a 9$03957411 
984 |2 70  |1 01  |a 89$112431909 
984 |2 100  |1 01  |a MA9$004057805 
984 |2 100  |1 02  |a MA9$004057791 
984 |2 120  |1 01  |a 12328867 
985 |2 22  |1 01  |a 747-H/98 
985 |2 24  |1 01  |a 95 K 5 
985 |2 24  |1 02  |a 00 K 192 
985 |2 32  |1 01  |a 96 A 9313 
985 |2 69  |1 01  |a 13868 
995 |2 24  |1 01  |a sh 
995 |2 24  |1 02  |a sh 
995 |2 120  |1 01  |a alma