schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Ätzpraxis für Halbleiter / A. F. Bogenschütz

PPN (Catalogue-ID): 173141021
Personen: Bogenschütz, August Friedrich
Format: Book Book
Language: German
Published: München, Hanser, 1967
Basisklassifikation: 52.78
Subjects:

Etching

Ätzen / Halbleiter / Halbleiteroberfläche

Notes: Literaturverz. S. 204 - 211.
Physical Description: 220 S, Ill., graph. Darst., 8
Other Editions: [Rezension von: Bogenschütz, August Friedrich, Ätzpraxis für Halbleiter]

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 05891cam a2201405 4500
001 173141021
003 DE-627
005 20180317164422.0
007 tu
008 941222s1967 xx ||||| 00| ||ger c
016 7 |a 456154612  |2 DE-101 
035 |a (DE-627)173141021 
035 |a (DE-599)GBV173141021 
035 |a (OCoLC)12287975 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a ger 
044 |c XA-DE 
050 0 |a TP156.E68 
082 0 |a 661 
084 |a 20a  |a 18a  |2 sdnb 
084 |a 52.78  |2 bkl 
100 1 |a Bogenschütz, August Friedrich  |0 (DE-588)110079574  |0 (DE-627)624912329  |0 (DE-576)322232139 
245 1 0 |a Ätzpraxis für Halbleiter  |c A. F. Bogenschütz 
264 1 |a München  |b Hanser  |c 1967 
300 |a 220 S  |b Ill., graph. Darst.  |c 8 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a ohne Hilfsmittel zu benutzen  |b n  |2 rdamedia 
338 |a Band  |b nc  |2 rdacarrier 
500 |a Literaturverz. S. 204 - 211. 
653 0 |a Etching 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)4000648-7  |0 (DE-627)106400495  |0 (DE-576)208838910  |a Ätzen  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4022993-2  |0 (DE-627)10630593X  |0 (DE-576)208946993  |a Halbleiter  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)4137418-6  |0 (DE-627)10565020X  |0 (DE-576)209677449  |a Halbleiteroberfläche  |2 gnd 
689 0 |5 (DE-627) 
787 0 8 |i Rezension  |a Köhler, Eberhart, 1929 - 1995  |t [Rezension von: Bogenschütz, August Friedrich, Ätzpraxis für Halbleiter]  |d 1968  |w (DE-627)775077763 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV_ILN_22 
912 |a GBV_ILN_22_i04712 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV_ILN_31 
912 |a GBV_ILN_32 
912 |a GBV_ILN_55 
912 |a GBV_ILN_62 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_100 
912 |a GBV_ILN_120 
912 |a GBV_ILN_140 
912 |a GBV_ILN_170 
936 b k |a 52.78  |j Oberflächentechnik  |j Wärmebehandlung  |0 (DE-627)106421395 
951 |a BO 
980 |2 20  |1 01  |b 297392980  |d Ac-5522  |x 0084  |y rC  |z 31-12-97 
980 |2 20  |1 02  |b 334573068  |f AF  |d X 39  |e i  |x 0084  |y riAF  |z 07-04-99 
980 |2 20  |1 03  |b 484476750  |f L4  |d EC3-60  |e i  |k (Altbestand)  |l 68 L 12  |x 0084  |y riL4  |z 03-05-01 
980 |2 20  |1 04  |b 56190409X  |f A1  |d YPY F 408  |e s  |d Ac-5522 [2.]  |x 0084  |y ziA1  |z 18-07-02 
980 |2 20  |1 05  |b 631471022  |f L5  |d E 65  |e i  |x 0084  |y riL5  |z 05-11-12 
980 |2 22  |1 01  |b 277766621  |f 18/47-a  |d 81.60 Bog  |e i  |x 0018  |y zi04712  |z 26-03-98 
980 |2 22  |1 02  |b 561930422  |f SUB-SM  |d A 1968/2223  |e u  |x 0018  |y ru  |z 18-07-02 
980 |2 23  |1 01  |b 16251882X  |f EK  |d EKH-511  |e u  |d 2401-0144  |x 0830  |y zu  |z 26-08-94 
980 |2 30  |1 01  |b 944494560  |f 104/05  |d CL 05 : IMET5: Raum 154 (Sek. 2): A 52  |e g  |k Institutsbestand, deshalb nähere Informationen im Inst. f. Metallurgie (IMET5)  |x 0104  |y ni005  |z 14-07-09 
980 |2 30  |1 02  |b 944358667  |f 104/01  |d CL 01 : IPPT1 N+Bog03891  |e g  |k Institutsbestand, deshalb nähere Informationen im Inst. f. Physik u. Physikalische Technologien (IPPT1)  |x 0104  |y ni001  |z 14-07-09 
980 |2 30  |1 03  |b 944361153  |f 104/01  |d CL 01 : IPPT1 P+Bog02774  |e g  |k Institutsbestand, deshalb nähere Informationen im Inst. f. Physik u. Physikalische Technologien (IPPT1)  |x 0104  |y ni001  |z 14-07-09 
980 |2 30  |1 04  |b 944389430  |f 104/01  |d CL 01 : IPPT1 N+Bog03892  |e g  |k Institutsbestand, deshalb nähere Informationen im Inst. f. Physik u. Physikalische Technologien (IPPT1)  |x 0104  |y ni001  |z 14-07-09 
980 |2 31  |1 01  |b 559432860  |f J 16/IFK  |d ING:KO:6000:Bog::1967  |e d  |l Bereich Festkörperphysik / Carmen Voigt  |x 0027  |y z  |z 25-06-02 
980 |2 32  |1 01  |b 37070438X  |f 91  |d 65 A 4661  |e u  |x 3400  |y ky  |z 13-12-99 
980 |2 55  |1 01  |b 153390557  |d B 9 d/54  |k Syst.Verw.: B 9 f, C 13 a  |x 3055  |y x  |z 18-08-95 
980 |2 62  |1 01  |b 39147684X  |f 28/BB1  |d UQ 2800 B674  |e u  |x 0028  |y zi013  |z 06-06-00 
980 |2 70  |1 01  |b 138320586  |f Haus2  |d AA 9902  |x 0089  |y zo  |z 22-12-94 
980 |2 100  |1 01  |b 349055793  |f Magazin  |d 1968 a 286:1  |e u  |k Xerokopie  |x 3100  |y k  |z 28-07-99 
980 |2 120  |1 01  |b 788368788  |d ing 432.7 AG 6453  |e u  |h alma  |x 0715  |y r  |z 21-03-02 
980 |2 140  |1 01  |b 268011664  |d EEK 003  |e u  |x 0839  |y z  |z 25-11-93 
980 |2 170  |1 01  |b 661225054  |f Bs68-B  |d 539.8 Bogenschütz  |e u  |x 3027/1  |y ni1  |z 18-08-04 
980 |2 170  |1 02  |b 1289767874  |f B108  |d Mag.2 A01337  |e u  |x 3027/2  |y zi2  |z 24-01-12 
982 |2 22  |1 01  |8 00  |a Halbleiter 
982 |2 32  |1 00  |8 00  |a ilmpub 
982 |2 62  |1 00  |8 00  |a Halbleiter 
982 |2 62  |1 00  |8 00  |a Ätzen 
982 |2 170  |1 00  |8 00  |a Verfahrensparameter 
982 |2 170  |1 00  |8 01  |a Ätzlösungen 
982 |2 170  |1 00  |8 02  |a Spezialverfahren 
982 |2 170  |1 00  |8 03  |a Polieren 
982 |2 170  |1 00  |8 04  |a Oberflächenbehandlung 
982 |2 170  |1 00  |8 05  |a Oberflächenuntersuchung 
982 |2 170  |1 00  |8 06  |a Tabelle 
983 |2 31  |1 00  |8 00  |a ING:KO:6000 
983 |2 120  |1 00  |8 00  |a ing 432.7 
983 |2 120  |1 00  |8 01  |a elt 667 
983 |2 120  |1 01  |8 00  |a ing 432.7 
983 |2 120  |1 01  |8 00  |a elt 667 
983 |2 170  |1 00  |8 00  |a 539.8 
983 |2 170  |1 00  |8 01  |a 539.88 
983 |2 170  |1 00  |8 51  |a 52.78 
983 |2 170  |1 00  |8 52  |a 53.56 
983 |2 170  |1 00  |8 53  |a 33.72 
983 |2 170  |1 00  |8 54  |a 35.18 
984 |2 20  |1 01  |a 84$102478381 
984 |2 22  |1 01  |a 100810712 
984 |2 23  |1 01  |a 830$24010144  |x 00 
984 |2 31  |1 01  |a 27$009814116 
984 |2 32  |1 01  |a ILM1$002886855 
984 |2 62  |1 01  |a 28$00372879X 
984 |2 70  |1 01  |a 89$111809916  |x 00 
984 |2 100  |1 01  |a MA9$003023192  |x 00 
984 |2 120  |1 01  |a 02884987 
984 |2 140  |1 01  |a 839$0279218  |x 00 
984 |2 170  |1 01  |a 1968.0269 
984 |2 170  |1 02  |a b0000.6772 
985 |2 22  |1 01  |a 2640.79 
985 |2 30  |1 01  |a A 52 
985 |2 30  |1 02  |a 03891 
985 |2 30  |1 03  |a 02774 
985 |2 30  |1 04  |a 03892 
985 |2 55  |1 01  |a 77/627 
985 |2 62  |1 01  |a 28/013 5257 
985 |2 140  |1 01  |a B 73.151 
985 |2 170  |1 01  |a 1968.0269 
985 |2 170  |1 02  |a b4810 
995 |2 120  |1 01  |a alma