schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

VHF-Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium ([My]c-Si:H) : Einfluß der Plasmaanregungsfrequenz auf die strukturellen und elektrischen Eigenschaften / vorgelegt von Peter Hapke

PPN (Catalogue-ID): 198005466
Personen: Hapke, Peter [VerfasserIn]
Format: Book Book
Language: German
Hochschule: @Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995
Basisklassifikation: 52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
33.68 Oberflächen Dünne Schichten Grenzflächen
33.72 Halbleiterphysik
Subjects:

Silicium

Mikrokristall

Wasserstoff

PECVD-Verfahren

UKW

Silicium / Mikrokristall / Wasserstoff / PECVD-Verfahren / UKW

Physical Description: 101 S, Ill., graph. Darst., 30 cm

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 02728nam a2200589 c 4500
001 198005466
003 DE-601
005 20121229122950.0
008 960508s1995 gw 000 0 ger d
015 |a 96H050590  |2 dnb 
016 7 |a 946981760  |2 DE-101 
035 |a (OCoLC)54490891 
040 |b ger  |c GBVCP 
041 0 |a ger 
084 |a 29  |a 37  |2 sdnb 
084 |a 52.78  |9 Oberflächentechnik  |9 Wärmebehandlung  |2 bkl 
084 |a 33.68  |9 Oberflächen  |9 Dünne Schichten  |9 Grenzflächen  |2 bkl 
084 |a 33.72  |9 Halbleiterphysik  |2 bkl 
100 1 |a Hapke, Peter  |e verfasserin  |4 aut 
245 1 0 |a VHF-Plasmaabscheidung von mikrokristallinem Silizium ([My]c-Si:H)  |b Einfluß der Plasmaanregungsfrequenz auf die strukturellen und elektrischen Eigenschaften  |c vorgelegt von Peter Hapke 
300 |a 101 S  |b Ill., graph. Darst  |c 30 cm 
502 |a @Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1995 
650 7 |0 (DE-601)106080156  |0 (DE-588)4077445-4  |a Silicium  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)105406996  |0 (DE-588)4169828-9  |a Mikrokristall  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)106122150  |0 (DE-588)4064784-5  |a Wasserstoff  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)104553839  |0 (DE-588)4267316-1  |a PECVD-Verfahren  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)105693510  |0 (DE-588)4131658-7  |a UKW  |2 gnd 
689 0 0 |A s  |0 (DE-601)106080156  |0 (DE-588)4077445-4  |a Silicium 
689 0 1 |A s  |0 (DE-601)105406996  |0 (DE-588)4169828-9  |a Mikrokristall 
689 0 2 |A s  |0 (DE-601)106122150  |0 (DE-588)4064784-5  |a Wasserstoff 
689 0 3 |A s  |0 (DE-601)104553839  |0 (DE-588)4267316-1  |a PECVD-Verfahren 
689 0 4 |A s  |0 (DE-601)105693510  |0 (DE-588)4131658-7  |a UKW 
689 0 |5 DE-101 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_GVK 
912 |a GBV_ILN_22 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV_ILN_32 
912 |a GBV_ILN_40 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_100 
912 |a GBV_ILN_130 
951 |a BO 
980 |2 22  |1 01  |b 218611382  |f SUB-SM  |d 96 T 1718  |x 0018  |y zu  |z 12-11-96 
980 |2 30  |1 01  |b 194032191  |d Db 94490  |e u  |x 0104  |y z  |z 14-08-96 
980 |2 32  |1 01  |b 200103709  |f 99  |d PHY 96 A 25975  |e u  |l ;1=Quelle ... ;2=Ex 1... ;2.1=... ;2.2=... ;2.3=... ;2.4=... ;3=Preis ... ;4=UK ... ;5=Sto 99=PHY... ;5.1=... ;5.2=... ;5.3=... ;5.4=... ;6=vhd FremdL b/sw... ;7=BearbSt ... ;8=RechnNr ... ;9=RechnDat ... ;10=Rabatt %... ;11=BestDat ... ;12=BestArt T... ;13=Lief 999... ;14=Bemerk HB der TH Aachen...  |x 3400  |y k  |z 23-09-96 
980 |2 40  |1 01  |b 217960405  |d DISS 96 B 2117  |e u  |x 0007  |y xsn  |z 04-11-96 
980 |2 70  |1 01  |b 191212970  |f Haus2  |d H 96 B 2857  |x 0089  |y z  |z 12-07-96 
980 |2 100  |1 01  |b 196109345  |f Magazin  |d Di 1995 b 130:1  |e u  |x 3100  |y k  |z 10-06-98 
980 |2 130  |1 01  |b 200033506  |f N-Magazin  |d 8041-489 4  |e u  |x 0700  |y kn  |z 23-09-96 
983 |2 32  |1 00  |8 00  |a 00000 
983 |2 100  |1 00  |8 00  |a B. 379