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Untersuchungen zur Kinetik der Abscheidung von TiN-Schichten mit reaktiven PVD-Verfahren / Johannes Schubert

PPN (Catalogue-ID): 211967033
Personen: Schubert, Johannes [VerfasserIn]
Format: Book Book
Language: German
Published: Stuttgart, Max-Planck-Inst. f. Metallforschung, 1996
Series: Bericht / Max-Planck-Institut für Metallforschung, Stuttgart (14)
Hochschule: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1996
Basisklassifikation: 52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
Physical Description: 104 S, Ill., graph. Darst.

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