schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Fundamentals of microfabrication / Marc Madou

PPN (Catalogue-ID): 21799038X
Personen: Madou, Marc J.
Format: Book Book
Language: English
Published: Boca Raton, Fla. [u.a.], CRC Press, 1997
Basisklassifikation: 50.94
52.78
53.56
Subjects:

Microelectronics

Integrated circuits / Design and construction

Microelectromechanical systems / Design and construction

Machining

Microelectronic packaging

Lasers / Industrial applications

Lithografie / Mikrosystemtechnik / Mikromechanik / Entwurf / Konstruktion

Notes: Literaturangaben.
Physical Description: 589 S, Ill., graph. Darst., 24 cm
ISBN: 0-8493-9451-1

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 06947cam a2201681 4500
001 21799038X
003 DE-627
005 20150504152255.0
007 tu
008 961113s1997 xx ||||| 00| ||eng c
016 7 |a 0849394511  |2 UK 
020 |a 0849394511  |c hc alk. paper : $ 99,95  |9 0-8493-9451-1 
035 |a (DE-627)21799038X 
035 |a (DE-599)GBV21799038X 
035 |a (OCoLC)833095318 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a eng 
044 |c XD-US  |c XA-GB 
050 0 |a TK7836 
082 0 |a 621.3815/2 
084 |a 50.94  |2 bkl 
084 |a 52.78  |2 bkl 
084 |a 53.56  |2 bkl 
100 1 |a Madou, Marc J.  |0 (DE-588)153885297  |0 (DE-627)704696851  |0 (DE-576)352295155 
245 1 0 |a Fundamentals of microfabrication  |c Marc Madou 
264 1 |a Boca Raton, Fla. [u.a.]  |b CRC Press  |c 1997 
300 |a 589 S  |b Ill., graph. Darst  |c 24 cm 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a ohne Hilfsmittel zu benutzen  |b n  |2 rdamedia 
338 |a Band  |b nc  |2 rdacarrier 
500 |a Literaturangaben. 
591 |a hbztoc (GBV) 
653 0 |a Microelectronics 
653 0 |a Integrated circuits  |a Design and construction 
653 0 |a Microelectromechanical systems  |a Design and construction 
653 0 |a Machining 
653 0 |a Microelectronic packaging 
653 0 |a Lasers  |a Industrial applications 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)4191584-7  |0 (DE-627)104464844  |0 (DE-576)210074493  |a Lithografie  |g Halbleitertechnologie  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4221617-5  |0 (DE-627)105008621  |0 (DE-576)210274557  |a Mikrosystemtechnik  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)4205811-9  |0 (DE-627)10470361X  |0 (DE-576)210171197  |a Mikromechanik  |2 gnd 
689 0 3 |D s  |0 (DE-588)4121208-3  |0 (DE-627)104674849  |0 (DE-576)209541369  |a Entwurf  |2 gnd 
689 0 4 |D s  |0 (DE-588)4032231-2  |0 (DE-627)106262513  |0 (DE-576)208996087  |a Konstruktion  |2 gnd 
689 0 |5 (DE-627) 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV_ILN_21 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV_ILN_31 
912 |a GBV_ILN_32 
912 |a GBV_ILN_40 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_100 
912 |a GBV_ILN_150 
912 |a GBV_ILN_152 
912 |a GBV_ILN_170 
912 |a GBV_ILN_185 
912 |a GBV_ILN_231 
936 b k |a 50.94  |j Mikrosystemtechnik  |j Nanotechnologie  |0 (DE-627)181570645 
936 b k |a 52.78  |j Oberflächentechnik  |j Wärmebehandlung  |0 (DE-627)106421395 
936 b k |a 53.56  |j Halbleitertechnologie  |0 (DE-627)106418688 
951 |a BO 
980 |2 20  |1 01  |b 170939561  |f LS1  |d MS M 730  |d 2760-6212  |x 0084  |y k  |z 11-12-97 
980 |2 21  |1 01  |b 319119661  |d a elt 667 f/748  |e u  |h kk  |x 0046  |y zza  |z 03-02-99 
980 |2 23  |1 01  |b 266392431  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 3424-6762  |x 0830  |y z  |z 03-12-97 
980 |2 23  |1 02  |b 369476239  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 3425-6231  |x 0830  |y z  |z 07-12-99 
980 |2 23  |1 03  |b 379862964  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2632-1501  |x 0830  |y z  |z 21-02-00 
980 |2 23  |1 05  |b 389509574  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2632-1527  |x 0830  |y z  |z 17-05-00 
980 |2 23  |1 06  |b 389510092  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2632-1530  |x 0830  |y z  |z 17-05-00 
980 |2 23  |1 07  |b 389510106  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2632-1543  |x 0830  |y z  |z 17-05-00 
980 |2 23  |1 08  |b 544416775  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2634-5723  |x 0830  |y z  |z 30-01-02 
980 |2 23  |1 09  |b 549595309  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2634-5736  |x 0830  |y z  |z 13-03-02 
980 |2 23  |1 10  |b 549595317  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2634-5749  |x 0830  |y z  |z 13-03-02 
980 |2 23  |1 12  |b 549595325  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2634-5752  |x 0830  |y z  |z 13-03-02 
980 |2 23  |1 13  |b 549595333  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2634-5765  |x 0830  |y z  |z 13-03-02 
980 |2 31  |1 01  |b 265169283  |f J 144  |d ING:MG:1000:Mad::1997  |e d  |x 0027  |y z  |z 11-12-03 
980 |2 32  |1 01  |b 16053223X  |f 69  |d ELT ZN 4136 M183  |e u  |l ;1=Quelle pros... ;2=Ex 1... ;2.1=... ;2.2=... ;2.3=... ;2.4=... ;3=Preis $79,95... ;4=UK c65... ;5=Sto 69... ;5.1=... ;5.2=... ;5.3=... ;5.4=... ;6=vhd FremdL b... ;8=RechnNr M 097542... ;9=RechnDat 20.11.97... ;10=Rabatt %25... ;11=BestDat 950101... ;12=BestArt ... ;13=Lief 6131... ;14=Bemerk ... ;7=BearbSt ...  |x 3400  |y k  |z 12-06-02 
980 |2 40  |1 01  |b 266207545  |f BBP  |d ZAO 000 = 98 B 913  |e u  |d 98 B 913  |x 7/15  |y xsn  |z 16-07-98 
980 |2 70  |1 01  |b 167773739  |f Haus2  |d T 98 B 405  |e u  |x 0089  |y z  |z 22-01-98 
980 |2 100  |1 01  |b 173103588  |f FH  |d 1998 b 118:1  |e u  |x 3100  |y k  |z 03-02-98 
980 |2 150  |1 01  |b 272485691  |d 50.94,38-98/00671  |e u  |x 3406  |y z  |z 04-05-01 
980 |2 152  |1 01  |b 35018805X  |f A  |d Tech 507 1037/99  |e u  |x 3405  |y k  |z 06-08-99 
980 |2 170  |1 01  |b 66061278X  |f Bs68-B  |d 621.36 Madou  |e u  |x 3027/1  |y ni1  |z 18-08-04 
980 |2 185  |1 01  |b 40515772X  |d ZN 4170 M183  |e u  |x 3519  |y z  |z 06-12-00 
980 |2 231  |1 01  |b 476492815  |f LS1  |d EAA 200 0039  |e u  |x 0527/0001  |y z  |z 04-04-01 
980 |2 231  |1 02  |b 487770781  |f LS1  |d EAA 200 0039:02  |e u  |x 0527/0001  |y z  |z 09-05-01 
982 |2 152  |1 00  |8 00  |a Mikrosystemtechnik 
982 |2 152  |1 00  |8 01  |a Halbleitertechnologie 
982 |2 152  |1 00  |8 02  |a Nanotechnologie 
982 |2 170  |1 00  |8 00  |a Mikroelektronik, Herstellung 
983 |2 21  |1 00  |8 30  |a elt 667 
983 |2 21  |1 00  |8 99  |a 46 
983 |2 31  |1 00  |8 00  |a ING 
983 |2 32  |1 00  |8 00  |a ZN 4136 
983 |2 40  |1 00  |8 00  |0 (DE-601)619466782  |a ZAO 000  |b Miniaturisierung {Technik} 
983 |2 40  |1 00  |8 01  |0 (DE-601)619467894  |a ZJN 000  |b Elektronik {Elektrotechnik} 
983 |2 40  |1 00  |8 02  |0 (DE-601)621341150  |a RVQ 000  |b Halbleiter {Physik} 
983 |2 40  |1 00  |8 07  |a 621.3815/2 
983 |2 100  |1 00  |8 00  |a C. 637 
983 |2 152  |1 00  |8 00  |a Tech 507 
983 |2 152  |1 00  |8 00  |a Tech 504 
983 |2 170  |1 00  |8 00  |a 621.36 
983 |2 170  |1 00  |8 01  |a 621.368 
983 |2 185  |1 00  |8 00  |a ZN 4170 
984 |2 20  |1 01  |a 84$027606212  |x 00 
984 |2 23  |1 01  |a 830$34246762 
984 |2 23  |1 02  |a 830$34256231 
984 |2 23  |1 03  |a 830$26321501 
984 |2 23  |1 05  |a 830$26321527 
984 |2 23  |1 06  |a 830$26321530 
984 |2 23  |1 07  |a 830$26321543 
984 |2 23  |1 08  |a 830$26345723 
984 |2 23  |1 09  |a 830$26345736 
984 |2 23  |1 10  |a 830$26345749 
984 |2 23  |1 12  |a 830$26345752 
984 |2 23  |1 13  |a 830$26345765 
984 |2 31  |1 01  |a 27$000337978 
984 |2 32  |1 01  |a ILM1$00196514X 
984 |2 40  |1 01  |a 7$208734961 
984 |2 70  |1 01  |a 89$116543906 
984 |2 100  |1 01  |a MA9$002985756  |x 00 
984 |2 150  |1 01  |a 9800671 
984 |2 152  |1 01  |a 1037/99 
984 |2 170  |1 01  |a 1999.0018 
984 |2 185  |1 01  |a SRA5$000646326 
984 |2 231  |1 01  |a 527001001857 
984 |2 231  |1 02  |a 527001001858 
985 |2 21  |1 01  |a vm 4748 
985 |2 23  |1 08  |a 2002-01484 
985 |2 23  |1 09  |a 2002-01484 
985 |2 23  |1 10  |a 2002-01484 
985 |2 23  |1 12  |a 2002-01484 
985 |2 23  |1 13  |a 2002-01484 
985 |2 31  |1 01  |a A97/R/11207 
985 |2 32  |1 01  |a 98 A 1670 
985 |2 150  |1 01  |a 98/00671 
985 |2 152  |1 01  |a 1037/99 
985 |2 170  |1 01  |a 1999.0018 
985 |2 185  |1 01  |a 00:5646 
985 |2 231  |1 01  |a 527001001857 
985 |2 231  |1 02  |a 527001001858 
995 |2 21  |1 01  |a kk