schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Untersuchungen zum CO2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten Optik / Silja Wunderlich

PPN (Catalogue-ID): 235476870
Nebentitel: Lasertempern von SiON-Dünnschichten
CO2-Lasertempern
Personen: Wunderlich, Silja
Müller, Jörg [Doktorvater]
Eich, Manfred [Gutachter]
Cooperations/Conferences: Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie
Format: Book Book
Language: German
Published: Düsseldorf, VDI Verl., 1997
Edition: Als Ms. gedr.
Series: Fortschrittberichte VDI Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe (500)
Hochschule: Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss. , 1997
Basisklassifikation: 33.68
50.37
Subjects:

Siliciumoxinitride / Dünne Schicht / Lasertempern / Kohlendioxidlaser / Integriert-optisches Bauelement

Formangabe: Hochschulschrift
Physical Description: VII, 168 S, graph. Darst.
ISBN: 3-18-350005-1

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 04392cam a2200997 4500
001 235476870
003 DE-627
005 20190317233358.0
007 tu
008 971017s1997 xx ||||| m 00| ||ger c
020 |a 3183500051  |9 3-18-350005-1 
035 |a (DE-627)235476870 
035 |a (DE-576)062177826 
035 |a (DE-599)GBV235476870 
035 |a (OCoLC)75817692 
035 |a (OCoLC)75817692 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a ger 
044 |c XA-DE 
084 |a 33.68  |2 bkl 
084 |a 50.37  |2 bkl 
100 1 |a Wunderlich, Silja  |0 (DE-588)173135943  |0 (DE-627)698058275  |0 (DE-576)133987264 
245 1 0 |a Untersuchungen zum CO2-Lasertempern von SiON-Dünnschichten für Anwendungen in der integrierten Optik  |c Silja Wunderlich 
246 1 |i Nebent.  |a Lasertempern von SiON-Dünnschichten 
246 3 0 |a CO2-Lasertempern 
246 3 3 |a Lasertempern von SiON-Dünnschichten 
250 |a Als Ms. gedr. 
264 1 |a Düsseldorf  |b VDI Verl.  |c 1997 
300 |a VII, 168 S  |b graph. Darst 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a ohne Hilfsmittel zu benutzen  |b n  |2 rdamedia 
338 |a Band  |b nc  |2 rdacarrier 
490 1 |a Fortschrittberichte VDI  |a Reihe 5, Grund- und Werkstoffe, Kunststoffe  |v 500 
502 |a Zugl.: Hamburg-Harburg, Techn. Univ., Arbeitsbereich Halbleitertechnologie, Diss. , 1997 
591 |a IMD-Felder und 1131 maschinell ergänzt (SWB) 
655 7 |a Hochschulschrift  |0 (DE-588)4113937-9  |0 (DE-627)105825778  |0 (DE-576)209480580  |2 gnd-content 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)4268721-4  |0 (DE-627)104474181  |0 (DE-576)210659564  |a Siliciumoxinitride  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4136925-7  |0 (DE-627)105653853  |0 (DE-576)209673303  |a Dünne Schicht  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)4329110-7  |0 (DE-627)132026600  |0 (DE-576)211297623  |a Lasertempern  |2 gnd 
689 0 3 |D s  |0 (DE-588)4031651-8  |0 (DE-627)104340657  |0 (DE-576)20899369X  |a Kohlendioxidlaser  |2 gnd 
689 0 4 |D s  |0 (DE-588)4271146-0  |0 (DE-627)104509791  |0 (DE-576)210679263  |a Integriert-optisches Bauelement  |2 gnd 
689 0 |5 DE-101 
700 1 |a Müller, Jörg  |e doktorvater 
700 1 |a Eich, Manfred  |e gutachter  |0 (DE-588)1143544994  |0 (DE-627)1002756316  |0 (DE-576)495022616 
710 2 |a Technische Universität Hamburg-Harburg  |b Arbeitsbereich Halbleitertechnologie  |0 (DE-588)5234988-3  |0 (DE-627)231736517  |0 (DE-576)196433940 
751 |a Hamburg-Harburg  |4 uvp 
810 2 |a Verein Deutscher Ingenieure  |t Fortschrittberichte VDI / 5  |v 500  |9 50000  |w (DE-627)129170151  |w (DE-576)014455064  |w (DE-600)50921-8  |x 0341-1664 
889 |w (DE-627)272868019 
912 |a GBV_ILN_11 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_100 
912 |a GBV_ILN_2006 
912 |a GBV_ILN_2014 
912 |a GBV_ILN_2020 
935 |c ab 
935 |i Blocktest 
936 b k |a 33.68  |j Oberflächen  |j Dünne Schichten  |j Grenzflächen  |x Physik  |0 (DE-627)10640444X 
936 b k |a 50.37  |j Technische Optik  |0 (DE-627)106421352 
951 |a BO 
980 |2 11  |1 01  |b 029095441  |f 2  |d 1 A 312900  |e u  |x 0001  |y r  |z 28-11-97 
980 |2 20  |1 01  |b 272606804  |d 2754-5548  |x 0084  |y k  |z 09-02-98 
980 |2 23  |1 01  |b 265131863  |f 21  |d 2125-0169  |h tuhh  |x 0830  |y z  |z 21-11-97 
980 |2 30  |1 01  |b 262900149  |d 97 A 726  |e u  |x 0104  |y z  |z 04-11-97 
980 |2 70  |1 01  |b 261297503  |f Haus2  |d ZN 739(500)  |x 0089  |y z  |z 17-10-97 
980 |2 100  |1 01  |b 261788205  |f Magazin  |d 1997 a 10378:1  |e u  |x 3100  |y k  |z 31-05-00 
980 |2 2006  |1 01  |b 3214663631  |d 1997 8 038109  |k LSTO: 13  |x 20301  |y l01  |z 08-01-98 
980 |2 2014  |1 01  |b 3214663690  |d 97 A 2048  |x 20592  |y l01  |z 13-11-97 
980 |2 2020  |1 01  |b 3214663755  |d ZM 3000 500  |l $  |x 20730  |y l01  |z 29-10-97 
983 |2 11  |1 00  |8 00  |0 (DE-601)285266489  |a Tec D 491; Optoelektronik 
983 |2 11  |1 00  |8 01  |0 (DE-601)287441466  |a Tec K 92; Dünne Schicht 
983 |2 11  |1 00  |8 02  |0 (DE-601)288875915  |a Tec B 87; Tempern 
983 |2 11  |1 00  |8 03  |0 (DE-601)285026054  |a Tec B 87; Laserwerkstoffbearbeitung 
983 |2 100  |1 00  |8 00  |a C. 635 
983 |2 2006  |1 01  |8 00  |0 (DE-627)1291812431  |a ZM 1705 
983 |2 2020  |1 01  |8 00  |0 (DE-627)1291746560  |a ZM 3000 
984 |2 20  |1 01  |a 84$027545548  |x 00 
984 |2 23  |1 01  |a 830$21250169 
984 |2 30  |1 01  |a 104$06392113  |x 00 
984 |2 70  |1 01  |a 89$116166355  |x 00 
984 |2 100  |1 01  |a MA9$002428512 
995 |2 23  |1 01  |a tuhh