schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Ätzverfahren für die Mikrotechnik / Michael Köhler

PPN (Catalogue-ID): 238510220
Personen: Köhler, Michael [VerfasserIn]
Format: Book Book
Language: German
Published: Weinheim [u.a.], Wiley-VCH-Verl., 1998
Basisklassifikation: 50.94 Mikrosystemtechnik Nanotechnologie
52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
35.18 Kolloidchemie Grenzflächenchemie
35.90 Festkörperchemie
58.14 Chemische Reaktionstechnik
Subjects:

Ätzen

Mikrosystemtechnik

Microlithography

Semiconductors / Etching

Ätzen / Mikrosystemtechnik

Notes: Literaturverz. S. [371] - 386
Physical Description: XVI, 398 S, Ill., graph. Darst.
Link: Inhaltsverzeichnis
ISBN: 3-527-28869-4

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 07181nam a2201597 c 4500
001 238510220
003 DE-601
005 20180317171650.0
008 980109s1998 gw 000 0 ger d
015 |a 98N050495  |2 dnb 
015 |a 98A171157  |2 dnb 
016 7 |a 952572397  |2 DE-101 
020 |a 3527288694  |c DM 298.00  |9 3-527-28869-4 
035 |a (OCoLC)245631184 
035 |a (DE-599)GBV238510220 
040 |b ger  |c GBVCP 
041 0 |a ger 
044 |a gw  |a xxu  |a xxk 
082 0 0 |a 621.38152 
084 |a 36  |2 sdnb 
084 |a 50.94  |9 Mikrosystemtechnik  |9 Nanotechnologie  |2 bkl 
084 |a 52.78  |9 Oberflächentechnik  |9 Wärmebehandlung  |2 bkl 
084 |a 35.18  |9 Kolloidchemie  |9 Grenzflächenchemie  |2 bkl 
084 |a 35.90  |9 Festkörperchemie  |2 bkl 
084 |a 58.14  |9 Chemische Reaktionstechnik  |2 bkl 
100 1 |a Köhler, Michael  |e verfasserin  |4 aut  |0 (DE-601)397654405  |0 (DE-588)129441740 
245 1 0 |a Ätzverfahren für die Mikrotechnik  |c Michael Köhler 
264 3 1 |a Weinheim [u.a.]  |b Wiley-VCH-Verl.  |c 1998 
300 |a XVI, 398 S.  |b Ill., graph. Darst. 
500 |a Literaturverz. S. [371] - 386 
650 7 |0 (DE-601)106400495  |0 (DE-588)4000648-7  |a Ätzen  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)105008621  |0 (DE-588)4221617-5  |a Mikrosystemtechnik  |2 gnd 
653 0 |a Microlithography 
653 0 |a Semiconductors  |a Etching 
689 0 0 |A s  |0 (DE-601)106400495  |0 (DE-588)4000648-7  |a Ätzen 
689 0 1 |A s  |0 (DE-601)105008621  |0 (DE-588)4221617-5  |a Mikrosystemtechnik 
689 0 |5 DE-101 
775 0 8 |i Engl. Ausg. u.d.T.  |t Köhler, Michael: Etching in microsystem technology 
856 4 2 |y Inhaltsverzeichnis  |u http://www.gbv.de/dms/ilmenau/toc/238510220.PDF  |m V:DE-601;B:DE-ilm1  |q pdf/application  |3 Inhaltsverzeichnis 
889 |w (DE-601)28009597X 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_GVK 
912 |a GBV_ILN_11 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a GBV_ILN_21 
912 |a GBV_ILN_22 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV_ILN_24 
912 |a GBV_ILN_31 
912 |a GBV_ILN_32 
912 |a GBV_ILN_69 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_91 
912 |a GBV_ILN_95 
912 |a GBV_ILN_100 
912 |a GBV_ILN_105 
912 |a GBV_ILN_118 
912 |a GBV_ILN_136 
912 |a GBV_ILN_150 
912 |a GBV_ILN_153 
912 |a GBV_ILN_160 
912 |a GBV_ILN_170 
912 |a GBV_ILN_185 
912 |a GBV_ILN_213 
912 |a GBV_ILN_231 
912 |a GBV_ILN_22_i04712 
951 |a BO 
980 |2 11  |1 01  |b 030072522  |f 2  |d 1 A 341639  |e u  |x 0001  |y r  |z 02-10-98 
980 |2 20  |1 01  |b 28069931X  |f CB  |d 45-G5-031  |d 0209-3646  |x 0084  |y k  |z 27-10-98 
980 |2 21  |1 01  |b 28696239X  |f TB Technik  |d k 800/8  |e c  |x 0046  |y znt  |z 17-06-98 
980 |2 21  |1 02  |b 295612673  |d a elt 699 s/043  |e u  |x 0046  |y zza  |z 11-09-98 
980 |2 22  |1 01  |b 281138907  |f 18/47-a  |d 81.60 Koeh  |e z  |l fehlt 4/2006 AP-Revision  |l vermisst : 01/03  |x 0018  |y zi04712  |z 04-05-98 
980 |2 23  |1 01  |b 276111877  |f EK  |d EKI-313  |d 2783-9186  |x 0830  |y z  |z 11-03-98 
980 |2 24  |1 01  |b 278046444  |f 42 iwm 100  |d Fa 2338  |e i  |x 0008  |y zz1d  |z 30-03-98 
980 |2 31  |1 01  |b 281358982  |f J 144  |d ING:MG:1000:Köh::1998  |e d  |x 0027  |y z  |z 04-06-03 
980 |2 32  |1 01  |b 269149147  |f 69  |d ELT ZN 3750 K77  |e u  |l ;1=Quelle pros... ;2=Ex 1... ;2.1=... ;2.2=... ;2.3=... ;2.4=... ;3=Preis 298,00... ;4=UK c65/Prof.Knedlik... ;5=Sto 69... ;5.1=... ;5.2=... ;5.3=... ;5.4=... ;6=Info Buchhdl ... ;8=RechnNr 392/98... ;9=RechnDat 4.3.98... ;10=Rabatt %5... ;11=BestDat 980109... ;12=BestArt ... ;13=Lief 1... ;14=Bemerk ... ;15=Vol... ;15.1=... ;15.2=... ;15.3=... ;16=Vol Biblgr-Angb... ;16.1=... ;16.2=... ;16.3=... ;7=BearbSt ...  |x 3400  |y k  |z 01-10-99 
980 |2 32  |1 02  |b 651024897  |f 69  |d ELT ZN 3750 K77+2  |e u  |x 3400  |y k  |z 24-06-04 
980 |2 32  |1 03  |b 1228643415  |f 69  |d ELT ZN 3750 K77+3  |e u  |x 3400  |y k  |z 10-03-11 
980 |2 69  |1 01  |b 281578230  |f UB 660  |d 660/ZM 7660 K77  |e u  |x 0009  |y z  |z 07-05-98 
980 |2 70  |1 01  |b 271373555  |f L tec 900  |d U 98 B 358  |e u  |x 0089  |y z  |z 12-03-98 
980 |2 91  |1 01  |b 303114258  |f N  |d ELT 0135/4  |e u  |x 3091/1  |y zm  |z 23-06-16 
980 |2 95  |1 01  |b 310918073  |f FH  |d 50.90 13<1>/1  |e u  |d FH 1999:222  |x 3095/1  |y k  |z 21-04-99 
980 |2 100  |1 01  |b 280653875  |f FH-Präsenz  |d 1998 a 6145:1  |e c  |x 3100  |y k  |z 18-05-04 
980 |2 100  |1 02  |b 287686167  |f FH  |d 1998 a 6145:2  |e u  |x 3100  |y k  |z 24-06-98 
980 |2 100  |1 03  |b 346095573  |f FH  |d 1998 a 6145:3  |e u  |x 3100  |y k  |z 31-05-06 
980 |2 105  |1 01  |b 288797523  |f Mag  |d 1998 A 347  |e u  |x 0841  |y z  |z 03-07-98 
980 |2 118  |1 01  |b 350637539  |f KOET-LS  |d 43157 <1>  |e i  |l 22.06.99 / K GOK / 298.00 DM / 154960  |x 3329  |y z1  |z 11-08-99 
980 |2 118  |1 02  |b 350637547  |f KOET-Mag  |d 43157 <2>  |e u  |x 3329  |y z1  |z 11-08-99 
980 |2 118  |1 03  |a 3  |b 421952091  |f KOET-Mag  |d 43157 <3-5>  |e u  |l 25.10.2000 / K GOK / 318.00 DM / 158480  |x 3329  |y z1  |z 08-01-01 
980 |2 136  |1 01  |b 307859800  |d 1998 A 1407  |e u  |x 3526  |y z  |z 30-10-98 
980 |2 150  |1 01  |b 276684478  |d 50.94,13-98/08500  |e u  |x 3406  |y z  |z 04-10-99 
980 |2 150  |1 02  |b 281057907  |d 50.94,13-98/10193  |e u  |x 3406  |y z  |z 04-10-99 
980 |2 150  |1 03  |b 756742900  |d 50.94,13-06/00674  |e u  |l 1. Ersatzex. für 0699999  |x 3406  |y z  |z 01-03-06 
980 |2 153  |1 01  |b 337963746  |f C.1.05  |d ZN 4172 K77 D4  |e i  |x 3315  |y z  |z 04-05-99 
980 |2 153  |1 02  |b 922414068  |f C.1.05  |d ZN 4172 K77 D4  |e i  |x 3315  |y z  |z 20-02-09 
980 |2 160  |1 01  |b 374586926  |d YGY / Koe  |e c  |x 0755  |y k  |z 18-01-00 
980 |2 170  |1 01  |b 841029458  |f Bs68-B  |d 621 Köhler  |e u  |x 3027/1  |y zi1  |z 23-10-07 
980 |2 185  |1 01  |b 51517775X  |d ZN 4150 K77  |e u  |x 3519  |y z  |z 29-10-01 
980 |2 213  |1 01  |b 313080682  |d CH 370-65  |e u  |k 1. Ex.  |x 0551  |y kh  |z 21-05-98 
980 |2 231  |1 01  |b 738427802  |d bestellt  |e a  |x 0527  |y a  |z 30-09-05 
982 |2 22  |1 01  |8 00  |a Ätzverfahren 
982 |2 118  |1 00  |8 00  |a Oberflächen 
982 |2 136  |1 00  |8 00  |a Ätzen 
982 |2 136  |1 00  |8 01  |a Mikrosystemtechnik 
982 |2 136  |1 00  |8 02  |a Oberflächentechnik 
982 |2 136  |1 00  |8 03  |a Halbleitertechnologie 
982 |2 170  |1 00  |8 00  |a Ätztechniken, Mikrostrukturierung 
982 |2 170  |1 00  |8 01  |a Ätzverfahren / materialspezifische Vorschriftensammlung 
982 |2 170  |1 00  |8 02  |a Mikrotechniken, Ätztechniken 
982 |2 213  |1 00  |8 00  |a Ätzen 
982 |2 213  |1 00  |8 01  |a Mikrosystemtechnik 
982 |2 213  |1 00  |8 02  |a Oberflächentechnik 
983 |2 11  |1 00  |8 00  |0 (DE-601)286799170  |a Tec A 91; Mikrosystemtechnik 
983 |2 11  |1 00  |8 01  |0 (DE-601)288329252  |a Tec K 87; Ätzen 
983 |2 21  |1 00  |8 00  |a k 800 
983 |2 21  |1 00  |8 30  |a elt 699 s 
983 |2 21  |1 00  |8 31  |a elt 027 s 
983 |2 21  |1 00  |8 99  |a 46 
983 |2 24  |1 01  |8 50  |0 (DE-601)269179119  |a iwm 100  |b Allgemeine Materialwissenschaften 
983 |2 31  |1 00  |8 00  |a INGMG:1000 
983 |2 32  |1 00  |8 00  |a ZN 3750 
983 |2 32  |1 00  |8 01  |a ZM 7660 
983 |2 69  |1 00  |8 00  |a ZM 7660 
983 |2 69  |1 00  |8 01  |a ZN 4150 
983 |2 100  |1 00  |8 00  |a C. 637 
983 |2 105  |1 00  |8 00  |a T 350 
983 |2 118  |1 00  |8 00  |a WTO 
983 |2 136  |1 00  |8 00  |a F:A1a 
983 |2 136  |1 00  |8 01  |a E:A 
983 |2 136  |1 00  |8 02  |a F:C3b.ff1.12 
983 |2 160  |1 00  |8 00  |a YGY 
983 |2 170  |1 00  |8 00  |a 621 
983 |2 170  |1 00  |8 01  |a 621.028 
983 |2 185  |1 00  |8 00  |a ZN 4150 
995 |2 21  |1 02  |a kk 
995 |2 24  |1 01  |a wf