schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Selected papers revised from the proceedings of the Fifth International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP '99) : 16 - 18 June 1999, Kanazawa, Japan / organized by executive committee of the International Symposium on Sputtering & Plasma Processes. Sponsored by the Japan Society of Applied Physics. [Guest ed.: A. Kinbara ...]

PPN (Catalogue-ID): 321219694
Personen: Kinbara, Akira
Cooperations/Conferences: International Symposium on Sputtering and Plasma Processes
Ōyō-Butsuri-Gakkai
Kongresse: International Symposium on Sputtering and Plasma Processes 5 1999.06.16-18 Kanazawa
ISSP '99 5 1999.06.16-18 Kanazawa
Format: Book Book
Language: English
Published: Oxford [u.a.], Pergamon, 2000
Series: Vacuum Special issue (59.2000,2/3)
Basisklassifikation: 52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
Subjects:

Sputtern

Dünnschichttechnik

Sputtern / Dünnschichttechnik / Kongress

Formangabe: Kongress
Physical Description: S. 381 - 843, Ill., graph. Darst.

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 02426nam a2200505 c 4500
001 321219694
003 DE-601
005 20130217040156.0
008 001103s2000 xxk 000 0 eng d
035 |a (OCoLC)248175130 
035 |a (DE-599)GBV321219694 
040 |b ger  |c GBVCP 
041 0 |a eng 
044 |a xxk  |a xxu  |a ne 
084 |a 52.78  |9 Oberflächentechnik  |9 Wärmebehandlung  |2 bkl 
110 2 |a International Symposium on Sputtering and Plasma Processes  |n 5  |d 1999  |c Kanazawa  |0 (DE-601)305926659  |0 (DE-588)5348534-8 
245 0 0 |a Selected papers revised from the proceedings of the Fifth International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP '99)  |b 16 - 18 June 1999, Kanazawa, Japan  |c organized by executive committee of the International Symposium on Sputtering & Plasma Processes. Sponsored by the Japan Society of Applied Physics. [Guest ed.: A. Kinbara ...] 
264 3 1 |a Oxford [u.a.]  |b Pergamon  |c 2000 
300 |a S. 381 - 843  |b Ill., graph. Darst 
490 0 |a Vacuum  |v 59.2000,2/3  |a Special issue 
650 7 |0 (DE-601)105309141  |0 (DE-588)4182614-0  |a Sputtern  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)105658251  |0 (DE-588)4136339-5  |a Dünnschichttechnik  |2 gnd 
655 7 |a Kongress  |2 gnd 
689 0 0 |0 (DE-601)105309141  |0 (DE-588)4182614-0  |D s  |a Sputtern 
689 0 1 |0 (DE-601)105658251  |0 (DE-588)4136339-5  |D s  |a Dünnschichttechnik 
689 0 2 |a Kongress 
689 0 |5 DE-601 
700 1 |a Kinbara, Akira 
710 2 |a Ōyō-Butsuri-Gakkai  |0 (DE-601)100618901  |0 (DE-588)20046-3 
711 2 |a International Symposium on Sputtering and Plasma Processes  |n 5  |d 1999.06.16-18  |c Kanazawa 
711 2 |a ISSP '99  |n 5  |d 1999.06.16-18  |c Kanazawa 
830 0 |w (DE-601)129466492  |v 59.2000,2/3  |9 2000,0059,02 
912 |a GBV_ILN_11 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_GVK 
912 |a GBV_ILN_22 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV_ILN_40 
912 |a GBV_ILN_70 
951 |a BO 
980 |2 11  |1 01  |b 412111063  |f 6  |d Zsn 6895-59,2/3  |e f  |x 0001  |y k  |z 14-11-00 
980 |2 22  |1 01  |b 661377202  |f SUB  |d Y/5717: 59  |e s  |x 0018  |y zu  |z 25-08-04 
980 |2 30  |1 01  |b 408083085  |d Zb 689 Bd 59  |e f  |x 0104  |y z  |z 19-06-01 
980 |2 40  |1 01  |b 544111338  |d Bestellung über Zeitschriftentitel  |e f  |k Bestellen/Vormerken? Suchen Sie nach der Signatur: 4 Z TECHN 236; bestellen Sie dort den Band 59,2/3  |x 0007  |y xsn  |z 29-01-02 
980 |2 70  |1 01  |b 409906085  |f in  |d ZA 3067(2000v59n2/3)  |e f  |k Bitte bei der Zeitschrift bestellen  |x 0089  |y z  |z 09-11-00