schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Fundamentals of microfabrication : the science of miniaturization / Marc J. Madou

PPN (Catalogue-ID): 325910588
Personen: Madou, Marc J.
Format: Book Book
Language: English
Published: Boca Raton, Fla. [u.a.], CRC Press, 2002
Edition: 2. ed.
Basisklassifikation: 50.94
52.78
53.56
RVK:

ZN 4900: Technik -- Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik -- Integrierte Schaltungen. Mikroelektronik (IC; IS) -- Allgemeines

Subjects:

Microelectronics

Machining

Microelectromechanical systems (Design and construction)

Integrated circuits (Design and construction)

Design and construction

Industrial applications

Lithografie / Mikrosystemtechnik / Mikromechanik / Entwurf / Konstruktion

Notes: 3. Aufl. u.d.T.: Madou, Marc J.: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. - 3. Aufl. in 3 Bd
Literaturangaben.
Physical Description: 723 S, Ill., graph. Darst., 29 cm
Link: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis
ISBN: 0-8493-0826-7

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 14434cam a2203241 4500
001 325910588
003 DE-627
005 20190517070555.0
007 tu
008 010305s2002 xx ||||| 00| ||eng c
010 |a  2001043273 
020 |a 0849308267  |c alk. paper  |9 0-8493-0826-7 
024 3 |a 9780849308260 
035 |a (DE-627)325910588 
035 |a (DE-576)09821781X 
035 |a (DE-599)GBV325910588 
035 |a (OCoLC)833754552 
035 |a (OCoLC)47738670 
035 |a (JUB)b1013167x 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a eng 
044 |c XD-US  |c XA-GB 
050 0 |a TK7836 
082 0 |a 621.38152 
082 0 |a 621.3815/2 
084 |a 11  |2 ssgn 
084 |a ZN 4900  |2 rvk 
084 |a 50.94  |2 bkl 
084 |a 52.78  |2 bkl 
084 |a 53.56  |2 bkl 
090 |a a 
100 1 |a Madou, Marc J.  |0 (DE-588)153885297  |0 (DE-627)704696851  |0 (DE-576)352295155 
245 1 0 |a Fundamentals of microfabrication  |b the science of miniaturization  |c Marc J. Madou 
250 |a 2. ed. 
264 1 |a Boca Raton, Fla. [u.a.]  |b CRC Press  |c 2002 
300 |a 723 S.  |b Ill., graph. Darst.  |c 29 cm 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a ohne Hilfsmittel zu benutzen  |b n  |2 rdamedia 
338 |a Band  |b nc  |2 rdacarrier 
500 |a 3. Aufl. u.d.T.: Madou, Marc J.: Fundamentals of microfabrication and nanotechnology. - 3. Aufl. in 3 Bd 
500 |a Literaturangaben. 
591 |a tocsubgoe (GBV). - tocohb (GBV). - 580,720 ddsu/sur ; 720 ff. (DDC): GBV/LOC ; IMD-Felder und 1131 maschinell ergänzt (SWB) 
650 0 |a Microelectronics 
650 0 |a Machining 
650 0 |a Microelectromechanical systems  |x Design and construction 
650 0 |a Integrated circuits  |x Design and construction 
653 0 |a Design and construction 
653 0 |a Design and construction 
653 0 |a Industrial applications 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)4191584-7  |0 (DE-627)104464844  |0 (DE-576)210074493  |a Lithografie  |g Halbleitertechnologie  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4221617-5  |0 (DE-627)105008621  |0 (DE-576)210274557  |a Mikrosystemtechnik  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)4205811-9  |0 (DE-627)10470361X  |0 (DE-576)210171197  |a Mikromechanik  |2 gnd 
689 0 3 |D s  |0 (DE-588)4121208-3  |0 (DE-627)104674849  |0 (DE-576)209541369  |a Entwurf  |2 gnd 
689 0 4 |D s  |0 (DE-588)4032231-2  |0 (DE-627)106262513  |0 (DE-576)208996087  |a Konstruktion  |2 gnd 
689 0 |5 (DE-627) 
856 4 2 |u http://www.gbv.de/dms/goettingen/325910588.pdf  |m DE-601  |n DE-7  |q pdf/application  |y Inhaltsverzeichnis  |3 Inhaltsverzeichnis 
856 4 2 |u http://www.gbv.de/dms/ohb-opac/325910588.pdf  |m DE-601  |n DE-Goe116  |q pdf/application  |y Inhaltsverzeichnis  |3 Inhaltsverzeichnis 
856 4 2 |u http://www.gbv.de/dms/goettingen/325910588.pdf  |z Kostenfrei  |3 Inhaltsverzeichnis 
912 |a GBV_ILN_11 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a GBV_ILN_21 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV_ILN_24 
912 |a GBV_ILN_32 
912 |a GBV_ILN_40 
912 |a GBV_ILN_55 
912 |a GBV_ILN_60 
912 |a GBV_ILN_62 
912 |a GBV_ILN_65 
912 |a GBV_ILN_65_a021 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_100 
912 |a GBV_ILN_120 
912 |a GBV_ILN_150 
912 |a GBV_ILN_152 
912 |a GBV_ILN_153 
912 |a GBV_ILN_185 
912 |a GBV_ILN_207 
912 |a GBV_ILN_231 
912 |a GBV_ILN_390 
912 |a GBV_ILN_2003 
912 |a GBV_ILN_2004 
912 |a GBV_ILN_2005 
912 |a GBV_ILN_2006 
912 |a GBV_ILN_2007 
912 |a GBV_ILN_2012 
912 |a GBV_ILN_2014 
912 |a GBV_ILN_2016 
912 |a GBV_ILN_2020 
912 |a GBV_ILN_2021 
912 |a GBV_ILN_2034 
912 |a GBV_ILN_2048 
912 |a GBV_ILN_2068 
912 |a GBV_ILN_2113 
935 |i sf 
936 r v |a ZN 4900  |b Allgemeines  |k Technik  |k Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik  |k Integrierte Schaltungen. Mikroelektronik (IC; IS)  |k Allgemeines  |0 (DE-627)1271491834  |0 (DE-625)rvk/157417:  |0 (DE-576)201491834 
936 b k |a 50.94  |j Mikrosystemtechnik  |j Nanotechnologie  |0 (DE-627)181570645 
936 b k |a 52.78  |j Oberflächentechnik  |j Wärmebehandlung  |0 (DE-627)106421395 
936 b k |a 53.56  |j Halbleitertechnologie  |0 (DE-627)106418688 
951 |a BO 
980 |2 11  |1 01  |b 562348646  |f 2  |d 1 B 78389  |e u  |x 0001  |y k  |z 17-03-09 
980 |2 20  |1 01  |b 805907513  |f LC  |d 1001 0202 2265  |e i  |x 0084  |y riLC  |z 08-07-16 
980 |2 21  |1 01  |b 829279547  |d a elt 667 f/748(2)  |e u  |x 0046  |y zza  |z 22-08-07 
980 |2 21  |1 02  |b 829279563  |d a elt 667 f/748(2)a  |e u  |x 0046  |y zza  |z 22-08-07 
980 |2 23  |1 01  |b 535185537  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2804-0314  |x 0830  |y z  |z 19-12-01 
980 |2 23  |1 02  |b 552951595  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2804-0327  |x 0830  |y z  |z 18-04-02 
980 |2 23  |1 03  |b 552951609  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2634-6599  |x 0830  |y z  |z 18-04-02 
980 |2 23  |1 04  |b 552951617  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2634-6609  |x 0830  |y z  |z 18-04-02 
980 |2 23  |1 05  |b 552951625  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2634-6612  |x 0830  |y z  |z 18-04-02 
980 |2 23  |1 06  |b 584752768  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2635-5519  |x 0830  |y z  |z 08-01-03 
980 |2 23  |1 07  |b 732525942  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2638-5589  |x 0830  |y z  |z 15-08-05 
980 |2 23  |1 08  |b 1700110985  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2635-5522  |x 0830  |y z  |z 08-01-03 
980 |2 23  |1 09  |b 1700110993  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2635-5535  |x 0830  |y z  |z 08-01-03 
980 |2 23  |1 10  |b 1700111000  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2635-5548  |x 0830  |y z  |z 08-01-03 
980 |2 23  |1 11  |b 1700112899  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2638-5592  |x 0830  |y z  |z 15-08-05 
980 |2 23  |1 12  |b 1700112902  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2638-5602  |x 0830  |y z  |z 15-08-05 
980 |2 23  |1 13  |b 1700112910  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2638-5615  |x 0830  |y z  |z 15-08-05 
980 |2 23  |1 14  |b 1700112929  |f LBS  |d EKI-312  |e d  |d 2638-5628  |x 0830  |y z  |z 15-08-05 
980 |2 24  |1 01  |b 76404592X  |f 42 iwe 330  |d Rf 506  |e i  |h wf  |x 0008  |y zz1d  |z 10-05-06 
980 |2 24  |1 02  |a 10  |b 76404883X  |f 43 iwe 330  |d lbf 412  |e f  |h wf  |x 0008  |y zz1d  |z 10-05-06 
980 |2 24  |1 03  |b 942845943  |f 42 iwe 330  |d Rf 506+200  |e i  |h wf  |l 2009-08-03  |x 0008  |y zz1d  |z 03-08-09 
980 |2 32  |1 01  |b 541725254  |f 69  |d ELT ZN 4136 M183(2)  |e u  |l ;1=Quelle pros... ;2=Ex 1... ;2.1=... ;2.2=... ;2.3=... ;2.4=... ;3=Preis 106,37 Euro... ;4=UK c65... ;5=Sto 69... ;5.1=... ;5.2=... ;5.3=... ;5.4=... ;6=Info Buchhdl ACHTUNG, ursprüngliches Bestelldatum 010305, bitte nicht doppelt liefern... ;8=RechnNr M50038899... ;9=RechnDat 15.04.02... ;10=Rabatt ... ;11=BestDat 020115... ;12=BestArt ... ;13=Lief 6... ;14=Bemerk ... ;15=Vol...;15.1=...;15.2=... ;15.3=... ;16=Vol Biblgr-Angb... ;16.1=... ;16.2=... ;16.3=... ;17=AUS... ;7=BearbSt x...  |x 3400  |y k  |z 03-07-02 
980 |2 40  |1 01  |b 534640753  |d 2002 B 835  |e u  |x 0007  |y ksn  |z 08-10-02 
980 |2 55  |1 01  |b 567461505  |d C 2/156  |x 3055  |y z  |z 27-08-02 
980 |2 60  |1 01  |b 571226841  |f MB  |d ELT 700:YB0063  |e u  |x 0705  |y z  |z 30-10-02 
980 |2 62  |1 01  |b 547833709  |f 28/BB1  |d ZN 4136 M183(2)  |e u  |x 0028  |y zi013  |z 26-02-02 
980 |2 65  |1 01  |b 546279805  |f Ha 4  |d ZN 3700 108<2>  |e u  |f Ha 4  |d PH 7.12.21 2002-404  |x 3/4  |y za021  |z 30-05-02 
980 |2 70  |1 01  |b 604399480  |d T 03 B 4439  |e u  |x 0089  |y z  |z 01-09-03 
980 |2 100  |1 01  |b 548310645  |f FH  |d 2002.05290:1  |e u  |x 3100  |y k  |z 10-05-02 
980 |2 100  |1 03  |b 555058212  |f FH  |d 2002.05290:3  |e u  |x 3100  |y k  |z 16-06-08 
980 |2 120  |1 01  |b 600865223  |f 4065  |d ing 672 CL 6411,2  |e g  |h alma  |x 0715  |y z  |z 09-05-03 
980 |2 120  |1 02  |b 71765883X  |f 4041  |d inf 170 CL 6411,2  |e g  |h alma  |x 0715  |y z  |z 03-06-05 
980 |2 150  |1 01  |b 737107448  |d 50.94,65-05/04120  |e u  |x 3406  |y z  |z 21-09-05 
980 |2 150  |1 02  |b 740375474  |d 50.94,65-05/04169  |e u  |x 3406  |y z  |z 19-10-05 
980 |2 150  |1 03  |b 740375989  |d 50.94,65-05/04170  |e u  |x 3406  |y z  |z 19-10-05 
980 |2 152  |1 01  |b 614988292  |f A  |d Tech 507 7081/03  |e u  |x 3405  |y k  |z 14-04-04 
980 |2 153  |1 01  |b 717799107  |f C.1.05  |d ZN 3700 M183(2)  |e i  |x 3315  |y z  |z 29-04-05 
980 |2 185  |1 01  |b 534044387  |d ZN 4170 M183(2)  |e u  |x 3519  |y z  |z 10-05-02 
980 |2 185  |1 02  |b 577945408  |d ZN 4170 M183(2)  |e u  |x 3519  |y z  |z 13-12-02 
980 |2 185  |1 03  |b 582342600  |d ZN 4170 M183(2)  |e u  |x 3519  |y z  |z 13-12-02 
980 |2 185  |1 04  |b 582342619  |d ZN 4170 M183(2)  |e u  |x 3519  |y z  |z 13-12-02 
980 |2 207  |1 02  |b 724077081  |d ZN 4136 M183(2)  |e u  |x 3207  |y z  |z 13-06-05 
980 |2 231  |1 01  |b 62537326X  |f LS1  |d EAA 200 0039:03  |e u  |x 0527/0001  |y z  |z 05-12-03 
980 |2 231  |1 02  |b 625373278  |f LS1  |d EAA 200 0039:04  |e u  |x 0527/0001  |y z  |z 05-12-03 
980 |2 231  |1 03  |b 625373286  |f LS1  |d EAA 200 0039:05  |e u  |x 0527/0001  |y z  |z 05-12-03 
980 |2 390  |1 01  |b 1806373149  |d TK7836 .M33 2002  |e u  |x 0579  |y n  |z 31-10-11 
980 |2 2003  |1 01  |b 3254916107  |d LS: Nat 720/22  |e p  |x 20076  |y l01  |z 21-10-08 
980 |2 2003  |1 02  |b 3254916123  |d LB 80/708  |d = Lehrbuchsammlung II, Institutsviertel  |x 20076  |y l02  |z 25-05-09 
980 |2 2004  |1 01  |b 3254916212  |d Frei 91: EF/2.2/6a  |l I 2004/132 - mb  |x 21251  |y l01  |z 02-03-04 
980 |2 2004  |1 02  |b 3254916220  |d Frei 91: HB/H.3/10  |e p  |k Professur: Biomedizinische Mikrotechnik  |l I 2005/55 - mb  |x 21251  |y l02  |z 16-02-05 
980 |2 2004  |1 03  |b 3254916239  |d Frei 91: SB/G.3/1  |k Studienbibliothek *** 3 Ex. ausleihbar  |l I 2007/331 ; I 2007/332 ; I 2007/352  |x 21251  |y l03  |z 26-11-07 
980 |2 2005  |1 01  |b 325491631X  |d 80/ZN 4900 M183(2)  |x 21355  |y l01  |z 14-03-17 
980 |2 2006  |1 01  |b 3254916395  |x 20301  |y l01  |z 12-04-02 
980 |2 2007  |1 01  |b 3254916484  |x 20302  |y l01  |z 30-04-07 
980 |2 2012  |1 01  |b 3254916549  |d Madou  |e p  |x 21252  |y l01  |z 18-02-03 
980 |2 2014  |1 01  |b 3254916638  |d 2007 E 1162(2)  |x 20592  |y l01  |z 05-06-07 
980 |2 2016  |1 01  |b 3254916743  |d MT 113  |e p  |l ak  |x 21253  |y l01  |z 02-02-07 
980 |2 2020  |1 01  |b 3254916794  |x 20730  |y l01  |z 08-08-03 
980 |2 2021  |1 01  |b 3254916921  |f Z  |d TK 7874/2002 M  |k Ex. 1: Z; Ex. 2: T 99; Ex. 3 - 6: T; Ex. 7: K 03  |x 20731  |y l01  |z 12-05-05 
980 |2 2034  |1 01  |b 3254916972  |d E 2-200-32/2  |x 20815  |y l01  |z 15-09-05 
980 |2 2048  |1 01  |b 3254917022  |d 58 686  |x 20827  |y l01  |z 30-04-02 
980 |2 2068  |1 01  |b 3254917081  |l al  |x 21562  |y l01  |z 07-01-03 
980 |2 2113  |1 01  |b 3254917154  |d Ki Mad  |x 21254  |y l01  |z 04-02-03 
982 |2 152  |1 00  |8 00  |a Mikrosystemtechnik 
982 |2 152  |1 00  |8 01  |a Halbleitertechnologie 
982 |2 152  |1 00  |8 02  |a Nanotechnologie 
982 |2 2021  |1 01  |8 00  |0 (DE-601)1305747011  |a Microelectronics 
982 |2 2021  |1 01  |8 01  |0 (DE-601)1305777336  |a Integrated circuits. Design and construction 
982 |2 2021  |1 01  |8 02  |0 (DE-601)1309401543  |a Microelectromechanical systems. Design and construction 
982 |2 2021  |1 01  |8 03  |0 (DE-601)1306096898  |a Machining 
983 |2 21  |1 00  |8 30  |a elt 667 
983 |2 21  |1 00  |8 99  |a 46 
983 |2 24  |1 01  |8 50  |0 (DE-601)36161781X  |a iwe 330  |b Mikrosystemtechnik 
983 |2 24  |1 02  |8 50  |0 (DE-601)36161781X  |a iwe 330  |b Mikrosystemtechnik 
983 |2 24  |1 03  |8 50  |0 (DE-601)36161781X  |a iwe 330  |b Mikrosystemtechnik 
983 |2 32  |1 00  |8 00  |a ZN 4136 
983 |2 40  |1 00  |8 00  |0 (DE-601)619466782  |a ZAO 000  |b Miniaturisierung {Technik} 
983 |2 40  |1 00  |8 01  |0 (DE-601)619467894  |a ZJN 000  |b Elektronik {Elektrotechnik} 
983 |2 40  |1 00  |8 02  |0 (DE-601)621341150  |a RVQ 000  |b Halbleiter {Physik} 
983 |2 60  |1 00  |8 00  |a mas 400 
983 |2 60  |1 00  |8 04  |a ELT 700 
983 |2 100  |1 00  |8 00  |a C. 637 
983 |2 120  |1 00  |8 00  |a ing 672 
983 |2 120  |1 01  |8 00  |a ing 672 
983 |2 120  |1 02  |8 00  |a ing 672 
983 |2 152  |1 00  |8 00  |a Tech 507 
983 |2 152  |1 00  |8 00  |a Tech 504 
983 |2 185  |1 00  |8 00  |a ZN 4170 
983 |2 2034  |1 01  |8 00  |0 (DE-601)1290994447  |a E 2-200 
983 |2 2034  |1 01  |8 01  |0 (DE-601)1290536643  |a E 2-300 
984 |2 23  |1 01  |a 830$28040314 
984 |2 23  |1 02  |a 830$28040327 
984 |2 23  |1 03  |a 830$26346599 
984 |2 23  |1 04  |a 830$26346609 
984 |2 23  |1 05  |a 830$26346612 
984 |2 23  |1 06  |a 830$26355519 
984 |2 23  |1 07  |a 830$26385589 
984 |2 23  |1 08  |a 830$26355522 
984 |2 23  |1 09  |a 830$26355535 
984 |2 23  |1 10  |a 830$26355548 
984 |2 23  |1 11  |a 830$26385592 
984 |2 23  |1 12  |a 830$26385602 
984 |2 23  |1 13  |a 830$26385615 
984 |2 23  |1 14  |a 830$26385628 
984 |2 24  |1 02  |a 8$0001920596  |c 02.Expl.  |a 8$0001920642  |c 03.Expl.  |a 8$0001920618  |c 04.Expl.  |a 8$0001920626  |c 05.Expl.  |a 8$0001920650  |c 06.Expl.  |a 8$0001920669  |c 08.Expl.  |a 8$0001920634  |c 09.Expl. 
984 |2 24  |1 03  |a 8$0000002089 
984 |2 32  |1 01  |a ILM1$003701077 
984 |2 40  |1 01  |a 7$215063686 
984 |2 60  |1 01  |a 705/0$21930333 
984 |2 62  |1 01  |a 28$007128258 
984 |2 65  |1 01  |a 3/21$000078298 
984 |2 70  |1 01  |a 89$124751598 
984 |2 100  |1 01  |a MA9$001974955 
984 |2 100  |1 03  |a MA9$001974998 
984 |2 120  |1 01  |a 16902587 
984 |2 120  |1 02  |a 17930673 
984 |2 150  |1 01  |a 0504120 
984 |2 150  |1 02  |a 0504169 
984 |2 150  |1 03  |a 0504170 
984 |2 152  |1 01  |a 7081/03 
984 |2 153  |1 01  |a 3315$076635 
984 |2 185  |1 01  |a SRA5$000754927 
984 |2 185  |1 02  |a SRA5$000763802 
984 |2 185  |1 03  |a SRA5$000763810 
984 |2 185  |1 04  |a SRA5$000763829 
984 |2 207  |1 02  |a 1041$0303550 
984 |2 231  |1 01  |a 527003003800 
984 |2 231  |1 02  |a 527003003801 
984 |2 231  |1 03  |a 527003003802 
984 |2 390  |1 01  |a 31111000044105  |x 00 
985 |2 21  |1 01  |a xe 0792 
985 |2 21  |1 02  |a xe 0793 
985 |2 23  |1 01  |a 2002-02425 
985 |2 23  |1 02  |a 2002-02425 
985 |2 23  |1 03  |a 2002-02425 
985 |2 23  |1 04  |a 2002-02425 
985 |2 23  |1 05  |a 2002-02425 
985 |2 23  |1 06  |a 2003-00696 
985 |2 23  |1 07  |a 2005-05114 
985 |2 23  |1 08  |a 2003-00696 
985 |2 23  |1 09  |a 2003-00696 
985 |2 23  |1 10  |a 2003-00696 
985 |2 23  |1 11  |a 2005-05114 
985 |2 23  |1 12  |a 2005-05114 
985 |2 23  |1 13  |a 2005-05114 
985 |2 23  |1 14  |a 2005-05114 
985 |2 32  |1 01  |a 02 A 5820 
985 |2 55  |1 01  |a 2002/166 
985 |2 60  |1 01  |a 2002 08457 
985 |2 62  |1 01  |a 2002.15439 
985 |2 65  |1 01  |a 21K/2002/00404 
985 |2 120  |1 02  |a CO 6114 
985 |2 150  |1 01  |a 05/04120 
985 |2 150  |1 02  |a 05/04169 
985 |2 150  |1 03  |a 05/04170 
985 |2 152  |1 01  |a 7081/03 
985 |2 153  |1 01  |a 2005/105 
985 |2 185  |1 01  |a 02:2225 
985 |2 185  |1 02  |a 02:6024 
985 |2 185  |1 03  |a 02:6025 
985 |2 185  |1 04  |a 02:6026 
985 |2 207  |1 02  |a 2005/0615 
985 |2 231  |1 01  |a 527003003800 
985 |2 231  |1 02  |a 527003003801 
985 |2 231  |1 03  |a 527003003802 
995 |2 24  |1 01  |a wf 
995 |2 24  |1 02  |a wf 
995 |2 24  |1 03  |a wf 
995 |2 120  |1 01  |a alma 
995 |2 120  |1 02  |a alma 
998 |2 40  |1 01  |0 2002-10  |a j