schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen / von Matthias Schulze

gepulstes Magnetron-Sputtern, Sputtern, Abscheidung von Oxiden, Nitriden, gepulstes Plasma

PPN (Catalogue-ID): 337481474
Nebentitel: Physical processes in pulsed magnetron discharges
Personen: Schulze, Matthias
Format: eBook eBook
Language: German
Published: 2001
Hochschule: Magdeburg, Univ., Fak. für Naturwiss., Diss., 2001
Basisklassifikation: 33.68
33.80
Subjects:

Magnetronsputtern / Titan / Titandioxid / Glimmentladung / Plasmadiagnostik / Emissionsspektroskopie

Formangabe: Hochschulschrift
Physical Description: Online-Ressource (PDF-Datei: 147 S., 5069 KB)
Technische Details: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader.

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 04288cam a2200997 4500
001 337481474
003 DE-627
005 20190310005101.0
007 cr uuu---uuuuu
008 011129s2001 xx |||||om 00| ||ger c
015 |a 01,H12,0515  |2 dnb 
016 7 |a 96291293X  |2 DE-101 
024 7 |a urn:nbn:de:101:1-201010122213  |2 urn 
035 |a (DE-627)337481474 
035 |a (DE-599)GBV337481474 
035 |a (OCoLC)845464260 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a ger 
044 |c XA-DE-ST 
084 |a 29  |2 sdnb 
084 |a 33.68  |2 bkl 
084 |a 33.80  |2 bkl 
100 1 |a Schulze, Matthias  |d 1971-  |0 (DE-588)122859200  |0 (DE-627)082198942  |0 (DE-576)189794550 
245 1 0 |a Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen  |c von Matthias Schulze 
246 3 3 |a Physical processes in pulsed magnetron discharges 
264 1 |c 2001 
300 |a Online-Ressource (PDF-Datei: 147 S., 5069 KB) 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a Computermedien  |b c  |2 rdamedia 
338 |a Online-Ressource  |b cr  |2 rdacarrier 
502 |a Magdeburg, Univ., Fak. für Naturwiss., Diss., 2001 
520 |a gepulstes Magnetron-Sputtern, Sputtern, Abscheidung von Oxiden, Nitriden, gepulstes Plasma 
538 |a Systemvoraussetzungen: Acrobat reader. 
655 7 |a Hochschulschrift  |0 (DE-588)4113937-9  |0 (DE-627)105825778  |0 (DE-576)209480580  |2 gnd-content 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)4208514-7  |0 (DE-627)105111783  |0 (DE-576)210186623  |a Magnetronsputtern  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4140648-5  |0 (DE-627)105626309  |0 (DE-576)209704543  |a Titan  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)4185549-8  |0 (DE-627)105286362  |0 (DE-576)210033215  |a Titandioxid  |2 gnd 
689 0 3 |D s  |0 (DE-588)4157609-3  |0 (DE-627)105499447  |0 (DE-576)209835796  |a Glimmentladung  |2 gnd 
689 0 4 |D s  |0 (DE-588)4260997-5  |0 (DE-627)104637641  |0 (DE-576)210594055  |a Plasmadiagnostik  |2 gnd 
689 0 5 |D s  |0 (DE-588)4152080-4  |0 (DE-627)105540935  |0 (DE-576)20979271X  |a Emissionsspektroskopie  |2 gnd 
689 0 |5 DE-101 
751 |a Magdeburg  |4 uvp 
776 0 8 |i Druckausg.  |a Schulze, Matthias, 1971 -   |t Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen  |d 2001  |h 138 Bl. in getr. Zählung  |w (DE-627)32759652X 
776 0 8 |i CD-ROM-Ausg.  |a Schulze, Matthias, 1971 -   |t Physikalische Vorgänge in gepulsten Magnetronentladungen  |d 2001  |h 1 CD-ROM  |w (DE-627)345826027 
856 4 0 |u http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:101:1-201010122213  |x Resolving-System  |3 Volltext 
856 4 0 |u http://d-nb.info/96291293X  |x Verlag  |3 Volltext 
856 7 |u urn:nbn:de:101:1-201010122213  |2 urn 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV_ILN_21 
912 |a GBV_ILN_22 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV_ILN_40 
912 |a GBV_ILN_60 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_100 
912 |a GBV_ILN_110 
936 b k |a 33.68  |j Oberflächen  |j Dünne Schichten  |j Grenzflächen  |x Physik  |0 (DE-627)10640444X 
936 b k |a 33.80  |j Plasmaphysik  |0 (DE-627)106408046 
951 |a BO 
980 |2 20  |1 01  |b 653161204  |x 0084  |y x  |z 22-06-04 
980 |2 21  |1 01  |b 659586967  |x 0046  |y z  |z 13-08-04 
980 |2 22  |1 01  |b 554864940  |h SUBolrd  |x 0018  |y xu  |z 08-05-02 
980 |2 30  |1 01  |b 719662788  |x 0104  |y z  |z 14-05-05 
980 |2 40  |1 01  |b 578514745  |h OLR-D  |l 2015-06  |x 0007  |y xsn  |z 16-11-02 
980 |2 60  |1 01  |b 578514753  |x 0705  |y z  |z 16-11-02 
980 |2 70  |1 01  |b 1395563551  |x 0089  |y z  |z 05-06-13 
980 |2 100  |1 01  |b 478191464  |d e-Diss  |x 3100  |y z  |z 26-09-11 
980 |2 110  |1 01  |b 719662796  |x 3110  |y xz  |z 14-05-05 
981 |2 20  |1 01  |r http://d-nb.info/96291293X 
981 |2 21  |1 01  |r http://d-nb.info/96291293X/34 
981 |2 22  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:101:1-201010122213 
981 |2 30  |1 01  |r http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=96291293X 
981 |2 40  |1 01  |r http://d-nb.info/96291293X 
981 |2 60  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:101:1-201010122213 
981 |2 70  |1 01  |y OA  |r http://edok01.tib.uni-hannover.de/edoks/e01dd13/337481474.pdf 
981 |2 110  |1 01  |r http://d-nb.info/96291293X 
983 |2 60  |1 01  |8 10  |a ho 
983 |2 100  |1 00  |8 00  |a B. 379 
985 |2 21  |1 01  |a OLRD 
985 |2 30  |1 01  |a OLRD 
985 |2 60  |1 01  |a OLRD 
985 |2 110  |1 01  |a OLRD 
995 |2 22  |1 01  |a SUBolrd 
995 |2 40  |1 01  |a OLR-D