schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Diagnostik an einer gepulsten RF-Entladung zur Erzeugung dünner a:C-H Schichten / von Siegmar Rudakowski

PPN (Catalogue-ID): 36495034X
Personen: Rudakowski, Siegmar
Format: eBook eBook
Language: German
Published: 2002
Hochschule: Bochum, Univ., Diss., 2002
Basisklassifikation: 33.68
33.80
Subjects:

Kohlenstoff / Amorpher Zustand / Wasserstoff / Dünne Schicht / PECVD-Verfahren

Gepulste Gasentladung / Plasmadiagnostik / Schichtwachstum / Elektrooptische Messung

Formangabe: Hochschulschrift
Physical Description: Online-Ressource (PDF-Datei: 117 S., 9548 KB)
Technische Details: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader.

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 03695cam a2200925 4500
001 36495034X
003 DE-627
005 20190222184907.0
007 cr uuu---uuuuu
008 030617s2002 xx |||||om 00| ||ger c
015 |a 03,H05,0893  |2 dnb 
016 7 |a 967219221  |2 DE-101 
035 |a (DE-627)36495034X 
035 |a (DE-599)GBV36495034X 
035 |a (OCoLC)76442832 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a ger 
044 |c XA-DE 
084 |a 29  |2 sdnb 
084 |a 33.68  |2 bkl 
084 |a 33.80  |2 bkl 
100 1 |a Rudakowski, Siegmar  |d 1969-  |0 (DE-588)124549357  |0 (DE-627)363414347  |0 (DE-576)294227040 
245 1 0 |a Diagnostik an einer gepulsten RF-Entladung zur Erzeugung dünner a:C-H Schichten  |c von Siegmar Rudakowski 
264 1 |c 2002 
300 |a Online-Ressource (PDF-Datei: 117 S., 9548 KB) 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a Computermedien  |b c  |2 rdamedia 
338 |a Online-Ressource  |b cr  |2 rdacarrier 
502 |a Bochum, Univ., Diss., 2002 
538 |a Systemvoraussetzungen: Acrobat reader. 
655 7 |a Hochschulschrift  |0 (DE-588)4113937-9  |0 (DE-627)105825778  |0 (DE-576)209480580  |2 gnd-content 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)4164538-8  |0 (DE-627)105446750  |0 (DE-576)209889160  |a Kohlenstoff  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4306087-0  |0 (DE-627)123197643  |0 (DE-576)211083194  |a Amorpher Zustand  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)4064784-5  |0 (DE-627)106122150  |0 (DE-576)209155140  |a Wasserstoff  |2 gnd 
689 0 3 |D s  |0 (DE-588)4136925-7  |0 (DE-627)105653853  |0 (DE-576)209673303  |a Dünne Schicht  |2 gnd 
689 0 4 |D s  |0 (DE-588)4267316-1  |0 (DE-627)104553839  |0 (DE-576)210647493  |a PECVD-Verfahren  |2 gnd 
689 0 |5 DE-101 
689 1 0 |D s  |0 (DE-588)4273791-6  |0 (DE-627)104476869  |0 (DE-576)210701501  |a Gepulste Gasentladung  |2 gnd 
689 1 1 |D s  |0 (DE-588)4260997-5  |0 (DE-627)104637641  |0 (DE-576)210594055  |a Plasmadiagnostik  |2 gnd 
689 1 2 |D s  |0 (DE-588)4273432-0  |0 (DE-627)104173718  |0 (DE-576)210698535  |a Schichtwachstum  |2 gnd 
689 1 3 |D s  |0 (DE-588)4151941-3  |0 (DE-627)105541877  |0 (DE-576)209791608  |a Elektrooptische Messung  |2 gnd 
689 1 |5 DE-101 
751 |a Bochum  |4 uvp 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV_ILN_21 
912 |a GBV_ILN_22 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV_ILN_40 
912 |a GBV_ILN_60 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_110 
936 b k |a 33.68  |j Oberflächen  |j Dünne Schichten  |j Grenzflächen  |x Physik  |0 (DE-627)10640444X 
936 b k |a 33.80  |j Plasmaphysik  |0 (DE-627)106408046 
951 |a BO 
980 |2 20  |1 01  |b 653228554  |x 0084  |y x  |z 22-06-04 
980 |2 21  |1 01  |b 659653710  |x 0046  |y z  |z 13-08-04 
980 |2 22  |1 01  |b 653331096  |h SUBolrd  |x 0018  |y xu  |z 22-06-04 
980 |2 30  |1 01  |b 719795559  |x 0104  |y z  |z 14-05-05 
980 |2 40  |1 01  |b 653426674  |h OLR-D  |x 0007  |y xsn  |z 23-06-04 
980 |2 60  |1 01  |b 653524560  |x 0705  |y z  |z 23-06-04 
980 |2 70  |1 01  |b 1477982094  |x 0089  |y z  |z 17-06-14 
980 |2 110  |1 01  |b 719795567  |x 3110  |y xz  |z 14-05-05 
981 |2 20  |1 01  |r http://d-nb.info/967219221 
981 |2 21  |1 01  |r http://d-nb.info/967219221 
981 |2 22  |1 01  |r http://deposit.ddb.de/cgi-bin/dokserv?idn=967219221 
981 |2 30  |1 01  |r http://d-nb.info/967219221 
981 |2 40  |1 01  |r http://d-nb.info/967219221 
981 |2 60  |1 01  |r http://d-nb.info/967219221 
981 |2 70  |1 01  |y OA  |r http://edok01.tib.uni-hannover.de/edoks/e01dd14/36495034X.pdf 
981 |2 110  |1 01  |r http://d-nb.info/967219221 
983 |2 60  |1 01  |8 10  |a ho 
985 |2 21  |1 01  |a OLRD 
985 |2 30  |1 01  |a OLRD 
985 |2 40  |1 01  |a OLRD 
985 |2 60  |1 01  |a OLRD 
985 |2 110  |1 01  |a OLRD 
995 |2 22  |1 01  |a SUBolrd 
995 |2 40  |1 01  |a OLR-D