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Analyse und Modellierung der Einwirkung gepulster Plasmen auf Oberflächen, Teilprojekt: Spektroskopische Untersuchungen gepulster Mikrowellenangeregter Plasmen zur großflächigen Schichtabscheidung ; Abschlußbericht zum Verbundprojekt / Institut für Plasmaforschung der Universität Stuttgart. J. Krüger ...

PPN (Catalogue-ID): 492728143
Personen: Krüger, J.
Cooperations/Conferences: Institut für Plasmaforschung
Format: eBook eBook
Language: German
Published: Stuttgart, [ca. 2004]
Basisklassifikation: 52.78
33.80
Subjects:

Siliciumnitrid / Beschichten / Plasmadiagnostik

Formangabe: Forschungsbericht
Notes: Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden.
Förderkennzeichen BMBF 13N8048. - Verbund-Nr. 01020293. - Literaturangaben.
Auch als gedr. Ausg. vorh
Physical Description: Online-Ressource (28 S., 2,16 MB), Ill., graph. Darst.
Technische Details: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader.

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