schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Einfluss der Materialeigenschaften und Fertigungstechnologie von Edelstahlsubstraten auf piezoresistive Dünnschicht-Sensoren / Armin Scharping

PPN (Catalogue-ID): 512191166
Personen: Scharping, Armin [VerfasserIn]
Format: Book Book
Language: German
Hochschule: @Stuttgart, Univ., Diss., 2005
Basisklassifikation: 50.22 Sensorik
50.94 Mikrosystemtechnik Nanotechnologie
Subjects:

Piezoelektrischer Drucksensor

Dünnschichtsensor

Dehnungsmessstreifen

Substrat (Mikroelektronik)

Edelstahl

Stoffeigenschaft

Physical Description: V, 174 S, Ill., graph. Darst., 21 cm
Link: Inhaltsverzeichnis

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 02457nam a2200589 c 4500
001 512191166
003 DE-601
005 20130315234916.0
008 060523s2006 gw 000 0 ger d
035 |a (OCoLC)314696914 
035 |a (OBV)AC05280835 
035 |a (DE-599)GBV512191166 
040 |b ger  |c GBVCP 
041 0 |a ger 
084 |a 50.22  |9 Sensorik  |2 bkl 
084 |a 50.94  |9 Mikrosystemtechnik  |9 Nanotechnologie  |2 bkl 
100 1 |a Scharping, Armin  |e verfasserin  |4 aut  |0 (DE-601)510980619  |0 (DE-588)131560395 
245 1 0 |a Einfluss der Materialeigenschaften und Fertigungstechnologie von Edelstahlsubstraten auf piezoresistive Dünnschicht-Sensoren  |c Armin Scharping 
300 |a V, 174 S.  |b Ill., graph. Darst.  |c 21 cm 
502 |a @Stuttgart, Univ., Diss., 2005 
650 7 |0 (DE-601)10537041X  |0 (DE-588)4174664-8  |a Piezoelektrischer Drucksensor  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)12425439X  |0 (DE-588)4311478-7  |a Dünnschichtsensor  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)106353411  |0 (DE-588)4011306-1  |a Dehnungsmessstreifen  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)10494675X  |0 (DE-588)4229622-5  |a Substrat  |g Mikroelektronik  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)105663867  |0 (DE-588)4135605-6  |a Edelstahl  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)104425253  |0 (DE-588)4192147-1  |a Stoffeigenschaft  |2 gnd 
856 4 2 |y Inhaltsverzeichnis  |u http://www.gbv.de/dms/hebis-darmstadt/toc/178250880.pdf  |m V:DE-603;B:DE-17  |q pdf/application  |3 Inhaltsverzeichnis 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_GVK 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_100 
912 |a GBV_ILN_170 
951 |a BO 
980 |2 20  |1 01  |b 779196414  |d 4558-2622  |x 0084  |y k  |z 28-09-06 
980 |2 23  |1 01  |b 771246099  |f 21  |d 2130-2716  |x 0830  |y z  |z 19-07-06 
980 |2 30  |1 01  |b 778879569  |d Da 108379  |e u  |x 0104  |y z  |z 26-09-06 
980 |2 70  |1 01  |b 765973065  |d H 06 B 782  |e u  |x 0089  |y z  |z 23-05-06 
980 |2 100  |1 01  |b 869556029  |f FH  |d 2008.03382:1  |e u  |x 3100  |y k  |z 17-02-09 
980 |2 170  |1 01  |b 777447592  |f Bs68-B  |d 04 Scharping  |e u  |x 3027/1  |y zi1  |z 13-09-06 
982 |2 170  |1 00  |8 00  |a piezoresistive Sensoren, Substrateinflüsse 
982 |2 170  |1 00  |8 01  |a Kraftsensoren 
982 |2 170  |1 00  |8 02  |a Drucksensoren 
982 |2 170  |1 00  |8 03  |a Dehnungsmessstreifen 
982 |2 170  |1 00  |8 04  |a Piezosensoren 
983 |2 100  |1 00  |8 00  |a C. 553 
983 |2 170  |1 00  |8 00  |a 04 
983 |2 170  |1 00  |8 01  |a 621.367 
983 |2 170  |1 00  |8 02  |a 531.3 
998 |2 23  |1 01  |0 2006.07.19