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Entwicklung einer leistungsfähigen Ionenquelle zur Herstellung dünner Schichten hoher optischer Güte / von Thanh Hung Ly

IBS, ion beam sputtering, Ionenstrahlzerstäubung, dielektrische Schichten, Raumtriebwerk, RIM, hochpräzise Optikfertigung, Prozessentwicklung

PPN (Catalogue-ID): 525329455
Personen: Ly, Thanh-Hung
Format: eBook eBook
Language: German
Sprache der Zusammenfassung: Englisch
Published: 2007
Hochschule: Hannover, Univ., Diss., 2007
Basisklassifikation: 52.78
Subjects:

Ionenquelle / Sputtern / Ionentriebwerk / Optische Schicht

Formangabe: Hochschulschrift
Notes: Auch als gedr. Ausg. vorhanden.
Physical Description: Online-Ressource (134 S. = 2913 Kb)

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