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LIGA-4H (16IN0141) - Parameterentwicklung für die schnelle Abscheidung von NiFe in Mikrostrukturen ; [Verbundprojekt: LIGA-Mikrostrukturen aus NiFe-Legierungsgalvanik] ; Abschlussbericht (Bericht Nr. 5) ; Projektbezeichnung: Eisen- Nickel- Legierungsabscheidung ; PROJEKT-Abschlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.01.2005 bis 31.01.2006 / Verf.: Thomas Mache; Christine Jakob

PPN (Catalogue-ID): 527425184
Nebentitel: Parameterentwicklung für die schnelle Abscheidung von NiFe in Mikrostrukturen
Personen: Mache, Thomas
Jakob, Christine
Format: eBook eBook
Language: German
Published: Ilmenau, Techn. Univ., FG ECG [Fachgebiet Elektrochemie- und Galvanotechnik], 2006
Basisklassifikation: 50.94 Mikrosystemtechnik Nanotechnologie
52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
Subjects:

LIGA-Verfahren

Nickellegierung

Eisenlegierung

LIGA-Verfahren / Nickellegierung / Eisenlegierung

Formangabe: Forschungsbericht
Notes: Verbund-Nr. 01023041. - Literaturverz.
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Physical Description: Online-Ressource (24 S., 1,79 MB), Ill., graph. Darst.
Technische Details: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader

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