schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Prüf- und Qualitätssicherungssystem für die industrielle Fertigung von wafergebondeten Mikrosystemen: MikroPrüf : Abschlußbericht ; im Rahmen des BMBF-Förderprogrammes Mikrosystemtechnik 2000+ / Projektleiter: Boehringer Ingelheim microParts GmbH. Mit den Projektpartnern: Fraunhofer Institut für Werkstoffmechanik Halle (IWMH); Hegewald & Peschke Mess- u.d Prüftechnik GmbH; Robert Bosch GmbH Reutlingen u. Stuttgart. [Autoren des Berichts: Kadel, Klaus] ...

PPN (Catalogue-ID): 535349831
Nebentitel: Prüf-Sicherungs-System zweitausend plus
New methods for testing and quality control of wafer-bonded microsystems
MikroPrüf
Personen: Kadel, Klaus
Cooperations/Conferences: Boehringer Ingelheim MicroParts GmbH
Format: eBook eBook
Language: German
Published: [Dortmund] [u.a.], 2006
Basisklassifikation: 50.94
52.71
Subjects:

Mikrosystemtechnik / Wafer / Bonden / Qualitätssicherung / Automatisches Prüfen

Formangabe: Forschungsbericht
Notes: Förderkennzeichen BMBF 16SV1776/16SV1781. - Verbund-Nr. 01023066. - Engl. Titel: New methods for testing and quality control of wafer-bonded microsystems
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Auch als gedr. Ausg. vorhanden
Physical Description: Online-Ressource (117 S., 8,28 MB), Ill., graph. Darst.
Technische Details: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader.

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 06359cam a2201081 4500
001 535349831
003 DE-627
005 20200117235640.0
007 cr uuu---uuuuu
008 070710s2006 xx |||||ot 00| ||ger c
024 7 |a 10.2314/GBV:535349831  |2 doi 
024 8 |a 16SV1776  |q Identnummer 
024 8 |a 16SV1777  |q Identnummer 
024 8 |a 16SV1778  |q Identnummer 
024 8 |a 16SV1779  |q Identnummer 
024 8 |a 16SV1780  |q Identnummer 
024 8 |a 16SV1781  |q Identnummer 
024 8 |a 01023066  |q Identnummer 
035 |a (DE-627)535349831 
035 |a (DE-599)GBV535349831 
035 |a (OCoLC)836632432 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a ger 
044 |c XA-DE 
084 |a 50.94  |2 bkl 
084 |a 52.71  |2 bkl 
245 1 0 |a Prüf- und Qualitätssicherungssystem für die industrielle Fertigung von wafergebondeten Mikrosystemen: MikroPrüf  |b Abschlußbericht ; im Rahmen des BMBF-Förderprogrammes Mikrosystemtechnik 2000+  |c Projektleiter: Boehringer Ingelheim microParts GmbH. Mit den Projektpartnern: Fraunhofer Institut für Werkstoffmechanik Halle (IWMH); Hegewald & Peschke Mess- u.d Prüftechnik GmbH; Robert Bosch GmbH Reutlingen u. Stuttgart. [Autoren des Berichts: Kadel, Klaus] ... 
246 3 0 |a Prüf-Sicherungs-System zweitausend plus 
246 3 3 |a New methods for testing and quality control of wafer-bonded microsystems 
246 3 3 |a MikroPrüf 
264 1 |a [Dortmund] [u.a.]  |c 2006 
300 |a Online-Ressource (117 S., 8,28 MB)  |b Ill., graph. Darst. 
336 |a nicht spezifiziert  |b zzz  |2 rdacontent 
337 |a Computermedien  |b c  |2 rdamedia 
338 |a Online-Ressource  |b cr  |2 rdacarrier 
500 |a Förderkennzeichen BMBF 16SV1776/16SV1781. - Verbund-Nr. 01023066. - Engl. Titel: New methods for testing and quality control of wafer-bonded microsystems 
500 |a Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden 
500 |a Auch als gedr. Ausg. vorhanden 
538 |a Systemvoraussetzungen: Acrobat reader. 
655 7 |a Forschungsbericht  |0 (DE-588)4155043-2  |0 (DE-627)10467444X  |0 (DE-576)209815833  |2 gnd-content 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)4221617-5  |0 (DE-627)105008621  |0 (DE-576)210274557  |a Mikrosystemtechnik  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4294605-0  |0 (DE-627)104178000  |0 (DE-576)210962526  |a Wafer  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)4232594-8  |0 (DE-627)104261218  |0 (DE-576)210365188  |a Bonden  |2 gnd 
689 0 3 |D s  |0 (DE-588)4126457-5  |0 (DE-627)105732249  |0 (DE-576)209585226  |a Qualitätssicherung  |2 gnd 
689 0 4 |D s  |0 (DE-588)4269925-3  |0 (DE-627)104523646  |0 (DE-576)210669381  |a Automatisches Prüfen  |2 gnd 
689 0 |5 (DE-627) 
700 1 |a Kadel, Klaus  |4 oth 
710 2 |a Boehringer Ingelheim MicroParts GmbH  |0 (DE-588)6043400-4  |0 (DE-627)498491803  |0 (DE-576)20048155X  |4 oth 
856 4 0 |u https://edocs.tib.eu/files/e01fb07/535349831.pdf  |x Verlag  |3 Volltext 
856 4 0 |u https://doi.org/10.2314/GBV:535349831  |x Resolving-System  |z OpenAccess Lizenz (außer Creative Commons License)  |3 Volltext 
856 4 2 |u https://edocs.tib.eu/files/e01fb07/535349831l.pdf  |x Verlag  |y Leseprobe 
912 |a GBV-FB-TIB 
912 |a GBV_ILN_21 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV_ILN_31 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_110 
912 |a GBV_ILN_132 
912 |a GBV_ILN_151 
912 |a GBV_ILN_161 
936 b k |a 50.94  |j Mikrosystemtechnik  |j Nanotechnologie  |0 (DE-627)181570645 
936 b k |a 52.71  |j Qualitätssicherung  |0 (DE-627)106413953 
951 |a BO 
980 |2 21  |1 01  |b 1565319966  |h ebook_2015_free  |x 0046  |y zza  |z 03-09-15 
980 |2 23  |1 01  |b 1761410318  |h olr-FBTIB  |x 0830  |y z  |z 27-03-18 
980 |2 30  |1 01  |b 1695605071  |h OLR-GBV-FB-TIB  |k Forschungsbericht  |x 0104  |y z  |z 20-06-17 
980 |2 31  |1 01  |b 1461353955  |h GBV-FB-TIB  |k Nach dem deutschen Urheberrecht darf das Werk bzw. der Inhalt zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, konsumiert, gespeichert oder ausgedruckt, nicht jedoch im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden  |x 0027  |y z  |z 06-03-14 
980 |2 70  |1 01  |b 826320082  |x 0089  |y z  |z 10-07-07 
980 |2 110  |1 01  |b 3523656990  |h OLR-FB-TIB  |k Open Access  |x 3110  |y z  |z 17-10-19 
980 |2 132  |1 01  |b 1578199417  |h OLR-FBTIB  |k Nach dem deutschen Urheberrecht darf das Werk bzw. der Inhalt zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, konsumiert, gespeichert oder ausgedruckt, nicht jedoch im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden  |x 0959  |y x  |z 04-11-15 
980 |2 151  |1 01  |b 1460289676  |h OLR-FBTIB  |k Es gilt deutsches Urheberrecht. Das Werk bzw. der Inhalt darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, konsumiert, gespeichert oder ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Auenstehende weitergegeben werden. - German copyright law applies. The work or content may be downloaded, consumed, stored or printed for your own use but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.  |x 0546  |y z  |z 04-03-14 
980 |2 161  |1 01  |b 1448045584  |k Nach dem deutschen Urheberrecht darf das Werk bzw. der Inhalt zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, konsumiert, gespeichert oder ausgedruckt, nicht jedoch im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden  |x 0960  |y x  |z 01-12-13 
981 |2 21  |1 01  |y LF  |r http://edok01.tib.uni-hannover.de/edoks/e01fb07/535349831.pdf 
981 |2 23  |1 01  |r https://doi.org/10.2314/GBV:535349831 
981 |2 30  |1 01  |r https://doi.org/10.2314/GBV:535349831 
981 |2 31  |1 01  |y eBook GBV-FB-TIB  |r https://doi.org/10.2314/GBV:535349831 
981 |2 70  |1 01  |r https://edocs.tib.eu/files/e01fb07/535349831.pdf 
981 |2 110  |1 01  |r https://doi.org/10.2314/GBV:535349831 
981 |2 132  |1 01  |y Volltext  |r https://doi.org/10.2314/GBV:535349831 
981 |2 151  |1 01  |y Volltext  |r https://doi.org/10.2314/GBV:535349831 
981 |2 161  |1 01  |y Volltext  |r https://doi.org/10.2314/GBV:535349831 
982 |2 31  |1 01  |8 00  |a eBook GBV-FB-TIB 
982 |2 132  |1 01  |8 00  |a Forschungsberichte der TIB Hannover 
995 |2 21  |1 01  |a ebook_2015_free 
995 |2 23  |1 01  |a olr-FBTIB 
995 |2 30  |1 01  |a OLR-GBV-FB-TIB 
995 |2 31  |1 01  |a GBV-FB-TIB 
995 |2 110  |1 01  |a OLR-FB-TIB 
995 |2 132  |1 01  |a OLR-FBTIB 
995 |2 151  |1 01  |a OLR-FBTIB