schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

PECVD-deposition and characterisation of C-Si thin film systems on metals / vorgelegt von Janine-Christina Schauer

PPN (Catalogue-ID): 545590868
Personen: Schauer, Janine-Christina [VerfasserIn]
Format: eBook eBook
Language: English
Published: Bochum, Univ.-Bibliothek,
Hochschule: @Bochum, Univ., Diss., 2007
Basisklassifikation: 33.68 Oberflächen Dünne Schichten Grenzflächen
33.72 Halbleiterphysik
52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
Subjects:

Diamantähnlicher Kohlenstoff

Silicium

Amorpher Zustand

Dünne Schicht

Metall

PECVD-Verfahren

Hochschulschrift

Formangabe: Hochschulschrift
Physical Description: Online-Ressource (PDF-Datei: 178 S., 9450 KB)
Technische Details: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 03710nmm a2200901 c 4500
001 545590868
003 DE-601
005 20170812021938.0
007 cr uuu---uuuuu
008 070926s2007 gw o 000 0 eng d
015 |a 07H101019  |2 dnb 
016 7 |a 985145587  |2 DE-101 
035 |a (OCoLC)836575743 
035 |a (DE-101)985145587 
035 |a (DE-599)DNB985145587 
040 |b ger  |c GBVCP  |e rda 
041 0 |a eng 
082 0 0 |a 530 
082 0 9 |a 530 
084 |a 33.68  |9 Oberflächen  |9 Dünne Schichten  |9 Grenzflächen  |2 bkl 
084 |a 33.72  |9 Halbleiterphysik  |2 bkl 
084 |a 52.78  |9 Oberflächentechnik  |9 Wärmebehandlung  |2 bkl 
085 |8 1\x  |u 537.6226 
100 1 |a Schauer, Janine-Christina  |e verfasserin  |4 aut  |0 (DE-601)538683481  |0 (DE-588)133216500 
245 1 0 |a PECVD-deposition and characterisation of C-Si thin film systems on metals  |h Elektronische Ressource  |c vorgelegt von Janine-Christina Schauer 
260 |a Bochum  |b Univ.-Bibliothek 
300 |a Online-Ressource (PDF-Datei: 178 S., 9450 KB) 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a Computermedien  |b c  |2 rdamedia 
338 |a Online-Ressource  |b cr  |2 rdacarrier 
502 |a @Bochum, Univ., Diss., 2007 
538 |a Systemvoraussetzungen: Acrobat reader 
650 7 |0 (DE-601)265051940  |0 (DE-588)4561133-6  |a Diamantähnlicher Kohlenstoff  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)106080156  |0 (DE-588)4077445-4  |a Silicium  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)123197643  |0 (DE-588)4306087-0  |a Amorpher Zustand  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)105653853  |0 (DE-588)4136925-7  |a Dünne Schicht  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)106230379  |0 (DE-588)4038860-8  |a Metall  |2 gnd 
650 7 |0 (DE-601)104553839  |0 (DE-588)4267316-1  |a PECVD-Verfahren  |2 gnd 
653 |a Hochschulschrift 
655 0 7 |0 (DE-588)4113937-9  |a Hochschulschrift  |2 gnd-content 
856 4 0 |u http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/SchauerJanineChristina/diss.pdf 
856 4 0 |u http://www-brs.ub.ruhr-uni-bochum.de/netahtml/HSS/Diss/SchauerJanineChristina 
856 4 0 |u http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:hbz:294-19552 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_GVK 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a GBV_ILN_21 
912 |a GBV_ILN_22 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV_ILN_40 
912 |a GBV_ILN_60 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV_ILN_110 
951 |a BO 
980 |2 20  |1 01  |b 836990714  |x 0084  |y x  |z 27-09-07 
980 |2 21  |1 01  |b 836998928  |x 0046  |y z  |z 27-09-07 
980 |2 22  |1 01  |b 837007798  |x 0018  |y xu  |z 27-09-07 
980 |2 23  |1 01  |b 837015138  |x 0830  |y x  |z 27-09-07 
980 |2 30  |1 01  |b 837021200  |x 0104  |y z  |z 27-09-07 
980 |2 40  |1 01  |b 83702885X  |x 0007  |y xsn  |z 27-09-07 
980 |2 60  |1 01  |b 837038391  |x 0705  |y z  |z 27-09-07 
980 |2 70  |1 01  |b 1478047054  |x 0089  |y z  |z 17-06-14 
980 |2 110  |1 01  |b 83704796X  |x 3110  |y x  |z 27-09-07 
981 |2 20  |1 01  |r http://d-nb.info/985145587 
981 |2 20  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:hbz:294-19552 
981 |2 21  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:hbz:294-19552 
981 |2 22  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:hbz:294-19552 
981 |2 23  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:hbz:294-19552 
981 |2 30  |1 01  |r http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=985145587 
981 |2 40  |1 01  |r http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=985145587 
981 |2 60  |1 01  |r http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=985145587 
981 |2 70  |1 01  |y OA  |r http://edok01.tib.uni-hannover.de/edoks/e01dd14/545590868.pdf 
981 |2 110  |1 01  |r http://deposit.d-nb.de/cgi-bin/dokserv?idn=985145587 
983 |2 60  |1 01  |8 10  |a ho 
995 |2 22  |1 01  |a SUBolrd 
995 |2 23  |1 01  |a olr-d 
998 |2 23  |1 01  |0 2007.09.27