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Ätzverfahren für die Mikrotechnik / Michael Köhler

Einführung -- Besonderheiten mikrotechnischer Ätzverfahren -- Nassätzverfahren -- Trockenätzverfahren -- Mikroformgebung durch Ätzen von lokal verändertem Material -- Ausgewählte Vorschriften

PPN (Catalogue-ID): 57110164X
Nebentitel: Etching in microsystem technology
Personen: Köhler, Michael [VerfasserIn]
Format: eBook eBook
Language: German
Published: Weinheim [u.a.], Wiley-VCH, 1998
Basisklassifikation: 50.94 Mikrosystemtechnik Nanotechnologie
52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
35.18 Kolloidchemie Grenzflächenchemie
35.90 Festkörperchemie
58.14 Chemische Reaktionstechnik
Subjects:

Ätzen

Mikrosystemtechnik

Masks (Electronics)

Microlithography

Plasma etching

Microlithography

Semiconductors / Etching

Ätzen / Mikrosystemtechnik

Formangabe: Lehrbuch
Notes: Includes bibliographical references and index
Literaturverz. S. [371] - 386
Physical Description: Online-Ressource (XVI, 398 S.), Ill., graph. Darst.
Link: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis
ISBN: 978-3-527-60291-9
3-527-28869-4
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