schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Untersuchungen zur reaktiven Abscheidung von TiNx und TiOx in einem DC-Magnetronplasma / von Stefan Wrehde

Magnetron, Massenspektrometrie, Beschichten, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Reaktives Sputtern, Titannitrid, Titandioxid, Röntgen-Photoelektronen, Röntgenreflektometrie

PPN (Catalogue-ID): 612837440
Personen: Wrehde, Stefan
Format: eBook eBook
Language: German
Published: 2009
Hochschule: Greifswald, Univ., Diss., 2009
Basisklassifikation: 52.78
33.80
Subjects:

Titannitrid / Titanoxide / Magnetronsputtern / Plasma-Wand-Wechselwirkung / Plasmadiagnostik

Titannitrid / Titanoxide / Magnetronsputtern / Dünne Schicht / Oberflächenanalyse

Formangabe: Hochschulschrift
Physical Description: Online-Ressource (PDF-Datei: 163 S., 45568 KB)
Technische Details: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader.

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 06918cam a2201429 4500
001 612837440
003 DE-627
005 20190310034630.0
007 cr uuu---uuuuu
008 091113s2009 xx |||||om 00| ||ger c
016 7 |a 999346318  |2 DE-101 
024 7 |a urn:nbn:de:gbv:9-000717-9  |2 urn 
035 |a (DE-627)612837440 
035 |a (DE-576)9612837449 
035 |a (DE-599)GBV612837440 
035 |a (OCoLC)643160010 
035 |a (DE-101)999346318 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a ger 
044 |c XA-DE-MV 
084 |a 52.78  |2 bkl 
084 |a 33.80  |2 bkl 
100 1 |a Wrehde, Stefan  |d 1979-  |0 (DE-588)140158367  |0 (DE-627)616452004  |0 (DE-576)314835326 
245 1 0 |a Untersuchungen zur reaktiven Abscheidung von TiNx und TiOx in einem DC-Magnetronplasma  |c von Stefan Wrehde 
264 1 |c 2009 
300 |a Online-Ressource (PDF-Datei: 163 S., 45568 KB) 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a Computermedien  |b c  |2 rdamedia 
338 |a Online-Ressource  |b cr  |2 rdacarrier 
502 |a Greifswald, Univ., Diss., 2009 
520 |a Magnetron, Massenspektrometrie, Beschichten, Plasma-Wand-Wechselwirkung, Reaktives Sputtern, Titannitrid, Titandioxid, Röntgen-Photoelektronen, Röntgenreflektometrie 
520 |a In this work, experiments in a DC-magnetron plasma for (reactive) deposition of Ti, TiNx and TiOx layers have been carried out. The aim was to find correlations between plasma conditions and layer properties by combining measurements of the ion and energy influx towards the substrate during the depositions with analyses of the deposited layers. Special fields of interest were the differences between the two operational modes of the magnetron (so-called balanced mode and unbalanced mode), which directly influence the ion flux towards the substrate and the influence of negatively charged ions, which only are produced when oxygen is used as reactive gas ... 
538 |a Systemvoraussetzungen: Acrobat reader. 
655 7 |a Hochschulschrift  |0 (DE-588)4113937-9  |0 (DE-627)105825778  |0 (DE-576)209480580  |2 gnd-content 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)4185564-4  |0 (DE-627)105286249  |0 (DE-576)210033266  |a Titannitrid  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4634896-7  |0 (DE-627)329017306  |0 (DE-576)214497968  |a Titanoxide  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)4208514-7  |0 (DE-627)105111783  |0 (DE-576)210186623  |a Magnetronsputtern  |2 gnd 
689 0 3 |D s  |0 (DE-588)4174840-2  |0 (DE-627)105369004  |0 (DE-576)209959606  |a Plasma-Wand-Wechselwirkung  |2 gnd 
689 0 4 |D s  |0 (DE-588)4260997-5  |0 (DE-627)104637641  |0 (DE-576)210594055  |a Plasmadiagnostik  |2 gnd 
689 0 |5 (DE-627) 
689 1 0 |D s  |0 (DE-588)4185564-4  |0 (DE-627)105286249  |0 (DE-576)210033266  |a Titannitrid  |2 gnd 
689 1 1 |D s  |0 (DE-588)4634896-7  |0 (DE-627)329017306  |0 (DE-576)214497968  |a Titanoxide  |2 gnd 
689 1 2 |D s  |0 (DE-588)4208514-7  |0 (DE-627)105111783  |0 (DE-576)210186623  |a Magnetronsputtern  |2 gnd 
689 1 3 |D s  |0 (DE-588)4136925-7  |0 (DE-627)105653853  |0 (DE-576)209673303  |a Dünne Schicht  |2 gnd 
689 1 4 |D s  |0 (DE-588)4172243-7  |0 (DE-627)105388610  |0 (DE-576)209942126  |a Oberflächenanalyse  |2 gnd 
689 1 |5 (DE-627) 
751 |a Greifswald  |4 uvp 
776 0 8 |i Druckausg.  |a Wrehde, Stefan, 1979 -   |t Untersuchungen zur reaktiven Abscheidung von TiNx und TiOx in einem DC-Magnetronplasma  |d 2009  |h 155 S.  |w (DE-627)61358001X 
856 4 0 |u https://epub.ub.uni-greifswald.de/rewrite/index/id/type/opus3-id/value/717 
856 4 0 |u https://edocs.tib.eu/files/e01dd10/612837440.pdf  |q application/pdf  |z Kostenfrei 
856 4 0 |u https://epub.ub.uni-greifswald.de/rewrite/index/opus3file/opus3id/717/filename/Diss_Wrehde_Stefan.pdf  |x Verlag  |z kostenfrei 
856 4 0 |u https://epub.ub.uni-greifswald.de/rewrite/index/id/type/opus3-id/value/717/index.html  |x Verlag 
856 4 0 |u http://d-nb.info/999346318/34  |x Langzeitarchivierung Nationalbibliothek 
856 4 0 |u http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:9-000717-9  |x Resolving-System 
856 7 |u urn:nbn:de:gbv:9-000717-9  |2 urn 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_21 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_22 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_40 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_60 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_69 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_105 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_110 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_132 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_161 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_293 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_2403 
936 b k |a 52.78  |j Oberflächentechnik  |j Wärmebehandlung  |0 (DE-627)106421395 
936 b k |a 33.80  |j Plasmaphysik  |0 (DE-627)106408046 
951 |a BO 
980 |2 20  |1 01  |b 1439680582  |x 0084  |y x  |z 13-10-13 
980 |2 21  |1 01  |b 143971083X  |x 0046  |y z  |z 13-10-13 
980 |2 22  |1 01  |b 1439740313  |h SUBolrd  |x 0018  |y xu  |z 13-10-13 
980 |2 40  |1 01  |b 1439802564  |x 0007  |y xsn  |z 13-10-13 
980 |2 60  |1 01  |b 1439831629  |h OLRD  |x 0705  |y z  |z 13-10-13 
980 |2 69  |1 01  |b 110279841X  |l ACQ  |x 0009  |y x  |z 19-07-12 
980 |2 70  |1 01  |b 1171344481  |x 0089  |y z  |z 14-07-10 
980 |2 105  |1 01  |b 1595991972  |x 0841  |y z  |z 21-01-16 
980 |2 110  |1 01  |b 1439861803  |x 3110  |y x  |z 13-10-13 
980 |2 132  |1 01  |b 1591298253  |h OLR-DISS  |x 0959  |y x  |z 19-12-15 
980 |2 161  |1 01  |b 1597422002  |h ORD  |x 0960  |y x  |z 28-01-16 
980 |2 293  |1 01  |b 1597844659  |h ORD  |x 3293  |y xf  |z 28-01-16 
980 |2 2403  |1 01  |b 347216882X  |e n  |x 21403  |y l01  |z 08-05-19 
981 |2 20  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:9-000717-9 
981 |2 21  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:9-000717-9 
981 |2 22  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:9-000717-9 
981 |2 40  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:9-000717-9 
981 |2 60  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:9-000717-9 
981 |2 69  |1 01  |r https://epub.ub.uni-greifswald.de/rewrite/index/id/type/opus3-id/value/717 
981 |2 70  |1 01  |y LF  |r https://edocs.tib.eu/files/e01dd10/612837440.pdf 
981 |2 105  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:9-000717-9 
981 |2 110  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:9-000717-9 
981 |2 132  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:9-000717-9 
981 |2 161  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:9-000717-9 
981 |2 293  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:gbv:9-000717-9 
981 |2 2403  |1 01  |r https://edocs.tib.eu/files/e01dd10/612837440.pdf 
983 |2 60  |1 01  |8 10  |a ho 
983 |2 69  |1 00  |8 00  |a UD 6100 
985 |2 20  |1 01  |a OLRD 
985 |2 69  |1 01  |a 2009.15953 
985 |2 110  |1 01  |a OLRD 
995 |2 22  |1 01  |a SUBolrd 
995 |2 60  |1 01  |a OLRD 
995 |2 132  |1 01  |a OLR-DISS 
995 |2 161  |1 01  |a ORD 
995 |2 293  |1 01  |a ORD