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Verbundprojekt: Sub-50-nm-Speicherzellen für Schreib-/Lesezyklen im Peta-Bereich - SOHAR, Teilvorhaben: Technische Komponenten für die Atomic-Layer-Abscheidung : Schlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.06.2006 - 31.05.2009 / Autor des Schlussberichts FHR: Andreas Steinbach. Projektleiter FHR: Reinhard Fendler ...

PPN (Catalogue-ID): 618315721
Nebentitel: Schreibzyklen
Sub-50-nm-Speicherzellen für Schreib-/Lesezyklen im Peta-Bereich - SOHAR
Personen: Steinbach, Andreas
Fendler, Reinhard
Format: eBook eBook
Language: German
Published: Ottendorf-Okrilla, FHR Anlagenbau GmbH, 2009
Basisklassifikation: 52.78
Formangabe: Forschungsbericht
Notes: Förderkennzeichen BMBF 01M3171D. - Verbund-Nr. 01051912.
Unterschiede zwischen der elektronischen Ressource und dem gedruckten Dokument können nicht ausgeschlossen werden. - Auch als gedr. Ausg. vorhanden.
Physical Description: Online-Ressource (34 S., 3,55 MB), Ill., graph. Darst.
Technische Details: Systemvoraussetzungen: Acrobat reader.

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