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Heißdraht-CVD von Siliziumschichten : Untersuchungen zur Stabilisierung des Abscheideprozesses / von Artur Laukart

PPN (Catalogue-ID): 745616062
Personen: Laukart, Artur [VerfasserIn]
Format: Book Book
Language: German
Zsfassung in engl. und dt. Sprache
Published: Stuttgart, Fraunhofer-Verl., 2013
Series: Berichte aus Forschung und Entwicklung / Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (36)
Hochschule: Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2013
Basisklassifikation: 52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
Subjects:

Cat-CVD-Verfahren

Silan

Wolframdraht

Phasenumwandlung

Silicide

Cat-CVD-Verfahren / Silan / Wolframdraht / Phasenumwandlung / Silicide

Physical Description: IX, 172 S, Ill., graph. Darst.
Link: Inhaltsverzeichnis
ISBN: 978-3-8396-0528-8

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