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Nanostrukturierte Oberflächen für steuerbare optische Komponenten : Resistentwicklung für die UV-NIL-Technologie im industriellen Einsatz : Berichtszeitraum: 01.04.2011 bis 31.03.2015 / Autor/Bearbeiter: Dr. Messerschmidt, Martin

PPN (Catalogue-ID): 862690315
Personen: Messerschmidt, Martin [VerfasserIn]
Format: eBook eBook
Language: German
Zusammenfassungen in deutscher und englischer Sprache
Published: Berlin, micro resist technology GmbH, 28.09.2015
Basisklassifikation: 50.94 Mikrosystemtechnik Nanotechnologie
50.22 Sensorik
52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
53.54 Optoelektronik
Subjects:

Optoelektronik

Optisches Bauelement

Oberflächenbehandlung

Nanostrukturiertes Material

Optoelektronik / Optisches Bauelement / Oberflächenbehandlung / Nanostrukturiertes Material

Formangabe: Forschungsbericht
Notes: Förderkennzeichen BMBF 16SV5373. - Verbund-Nummer 01085905
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Physical Description: 1 Online-Ressource (26 Seiten, 2,23 MB), Diagramme, Illustrationen.

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