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Verbundprojekt „Effiziente Produktion ultrapräziser innovativ strukturierter funktioneller Oberflächen mittels adaptiver Plasmatechnik (SHAPION)“ : IOM-Teilvorhaben „Neue adaptive RIBE-Technologie auf der Grundlage exakter Geometriedaten der 3D-Maskenstrukturen und in-situ-Prozessmesstechnik“ : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 01.05.2012-30.10.2015 / Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. Mitarbeiter: R. Fechner [und 5 weitere]

PPN (Catalogue-ID): 867464763
Personen: Fechner, Renate [VerfasserIn]
Cooperations/Conferences: Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung [Herausgebendes Organ]
Format: eBook eBook
Language: German
Zusammenfassungen in deutscher und englischer Sprache
Published: Leibzig, Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V., [2015?]
Basisklassifikation: 50.39
33.80
52.78
Subjects:

Oberflächenbehandlung / Plasmatechnik

Formangabe: Forschungsbericht
Notes: Förderkennzeichen BMBF 13N12150. - Verbund-Nummer 01115065.
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden.
Physical Description: 1 Online-Ressource (16 Seiten, 774,83 KB), Illustrationen, Diagramme.

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