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Herstellung von Nanometer-Strukturen mittels feinfokussiertem Ionenstrahl (FIB) / Sylvia Mucke

PPN (Catalogue-ID): 871345587
Personen: Mucke, Sylvia [VerfasserIn]
Format: eBook eBook
Language: German
Zusammenfassungen in deutscher und englischer Sprache
Published: Dresden, Forschungszentrum Rossendorf, April 2004
Series: Wissenschaftlich-Technische Berichte / FZR, Forschungszentrum Rossendorf (402)
Hochschule: Diplomarbeit, Hochschule Mittweida (FH), 2004
Basisklassifikation: 50.94 Mikrosystemtechnik Nanotechnologie
52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
Subjects:

Nanostruktur

Ionenstrahl

Wolfram

Abtragen

Abscheidung

Nanostruktur / Ionenstrahl / Wolfram / Abtragen / Abscheidung

Formangabe: Hochschulschrift
Notes: Literaturverzeichnis: Seite 46-47
Physical Description: 1 Online-Ressource (54 Seiten, 2.247 kB), Illustrationen, Diagramme.

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