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Synthesis of silicon nanocrystal memories by sputter deposition : Untersuchung zur Herstellung von Silizium-Nanokristall-Speichern durch Sputterverfahren / Jan Uwe Schmidt

PPN (Catalogue-ID): 871644460
Personen: Schmidt, Jan Uwe [VerfasserIn]
Format: eBook eBook
Language: English
Zusammenfassungen in deutscher und englischer Sprache
Published: Dresden, FZR, Forschungszentrum Rossendorf, März 2005
Series: Wissenschaftlich-Technische Berichte / FZR, Forschungszentrum Rossendorf (425)
Hochschule: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2004
Basisklassifikation: 33.68 Oberflächen Dünne Schichten Grenzflächen
52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
53.56 Halbleitertechnologie
Subjects:

Dünne Schicht

Flash-Speicher

Nanostrukturiertes Material

Silicium

Siliciumoxide

Sputtern

Dünne Schicht / Flash-Speicher / Nanostrukturiertes Material / Silicium / Siliciumoxide / Sputtern

Notes: Literaturverzeichnis: Seite 137-150
Physical Description: 1 Online-Ressource (182 Seiten, 19,3 MB), Illustrationen, Diagramme.

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