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Synthesis of silicon nanocrystal memories by sputter deposition : = Untersuchung zur Herstellung von Silizium-Nanokristall-Speichern durch Sputterverfahren / Jan Uwe Schmidt

PPN (Catalogue-ID): 871644460
Nebentitel: Untersuchung zur Herstellung von Silizium-Nanokristall-Speichern durch Sputterverfahren
Personen: Schmidt, Jan Uwe [VerfasserIn]
Format: eBook eBook
Language: English
Zusammenfassungen in deutscher und englischer Sprache
Published: Dresden, FZR, Forschungszentrum Rossendorf, März 2005
Series: Wissenschaftlich-Technische Berichte / FZR, Forschungszentrum Rossendorf (425)
Hochschule: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2004
Basisklassifikation: 33.68
52.78
53.56
Subjects:

Dünne Schicht / Flash-Speicher / Nanostrukturiertes Material / Silicium / Siliciumoxide / Sputtern

Notes: Literaturverzeichnis: Seite 137-150.
Physical Description: 1 Online-Ressource (182 Seiten, 19,3 MB), Illustrationen, Diagramme.

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LEADER 05359cam a2200913 4500
001 871644460
003 DE-627
005 20190310071747.0
007 cr uuu---uuuuu
008 161102s2005 xx |||||o 00| ||eng c
035 |a (DE-627)871644460 
035 |a (DE-599)GBV871644460 
035 |a (OCoLC)961912919 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rda 
041 |a eng 
044 |c XA-DE-SN 
084 |a 33.68  |2 bkl 
084 |a 52.78  |2 bkl 
084 |a 53.56  |2 bkl 
088 |a FZR-425 
100 1 |a Schmidt, Jan Uwe  |d 1971-  |e verfasserin  |0 (DE-588)129950408  |0 (DE-627)484977695  |0 (DE-576)189005459  |4 aut 
245 1 0 |a Synthesis of silicon nanocrystal memories by sputter deposition  |b  = Untersuchung zur Herstellung von Silizium-Nanokristall-Speichern durch Sputterverfahren  |c Jan Uwe Schmidt 
246 3 1 |a Untersuchung zur Herstellung von Silizium-Nanokristall-Speichern durch Sputterverfahren 
264 1 |a Dresden  |b FZR, Forschungszentrum Rossendorf  |c März 2005 
300 |a 1 Online-Ressource (182 Seiten, 19,3 MB)  |b Illustrationen, Diagramme 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a Computermedien  |b c  |2 rdamedia 
338 |a Online-Ressource  |b cr  |2 rdacarrier 
490 1 |a Wissenschaftlich-Technische Berichte / FZR, Forschungszentrum Rossendorf  |v 425 
500 |a Literaturverzeichnis: Seite 137-150. 
502 |b Dissertation  |c Technische Universität Dresden  |d 2004 
546 |a Zusammenfassungen in deutscher und englischer Sprache 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)4136925-7  |0 (DE-627)105653853  |0 (DE-576)209673303  |a Dünne Schicht  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4518714-9  |0 (DE-627)250328070  |0 (DE-576)213263858  |a Flash-Speicher  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)4342626-8  |0 (DE-627)153672439  |0 (DE-576)211436038  |a Nanostrukturiertes Material  |2 gnd 
689 0 3 |D s  |0 (DE-588)4077445-4  |0 (DE-627)106080156  |0 (DE-576)209205164  |a Silicium  |2 gnd 
689 0 4 |D s  |0 (DE-588)4181398-4  |0 (DE-627)105318396  |0 (DE-576)210004398  |a Siliciumoxide  |2 gnd 
689 0 5 |D s  |0 (DE-588)4182614-0  |0 (DE-627)105309141  |0 (DE-576)210012862  |a Sputtern  |2 gnd 
689 0 |5 (DE-627) 
776 0 8 |i Erscheint auch als  |n Druck-Ausgabe  |a Schmidt, Jan Uwe, 1971 -   |t Synthesis of silicon nanocrystal memories by sputter deposition  |d Dresden : FZR, 2005  |h 162 S.  |w (DE-627)484930427 
810 2 |a Forschungszentrum Rossendorf  |t Wissenschaftlich-Technische Berichte  |v 425  |9 42500  |w (DE-627)738454516  |w (DE-576)380217902  |w (DE-600)2708041-9  |x 1437-322X 
856 4 0 |u https://edocs.tib.eu/files/e01fn16/871644460.pdf  |q application/pdf  |z OpenAccess Lizenz (Creative Commons License) 
912 |a GBV-FB-TIB 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV-FB-TIB 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV-FB-TIB 
912 |a GBV_ILN_31 
912 |a GBV-FB-TIB 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV-FB-TIB 
912 |a GBV_ILN_132 
912 |a GBV-FB-TIB 
912 |a GBV_ILN_151 
912 |a GBV-FB-TIB 
912 |a GBV_ILN_161 
936 b k |a 33.68  |j Oberflächen  |j Dünne Schichten  |j Grenzflächen  |x Physik  |0 (DE-627)10640444X 
936 b k |a 52.78  |j Oberflächentechnik  |j Wärmebehandlung  |0 (DE-627)106421395 
936 b k |a 53.56  |j Halbleitertechnologie  |0 (DE-627)106418688 
951 |a BO 
980 |2 23  |1 01  |b 1761780328  |h olr-FBTIB  |x 0830  |y z  |z 27-03-18 
980 |2 30  |1 01  |b 1696089573  |h OLR-GBV-FB-TIB  |k Forschungsbericht  |x 0104  |y z  |z 21-06-17 
980 |2 31  |1 01  |b 1676159320  |h GBV-FB-TIB  |k Nach dem deutschen Urheberrecht darf das Werk bzw. der Inhalt zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, konsumiert, gespeichert oder ausgedruckt, nicht jedoch im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden  |x 0027  |y z  |z 08-04-17 
980 |2 70  |1 01  |b 1644298511  |x 0089  |y z  |z 02-11-16 
980 |2 132  |1 01  |b 1741740096  |h OLR-FBTIB  |k Nach dem deutschen Urheberrecht darf das Werk bzw. der Inhalt zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, konsumiert, gespeichert oder ausgedruckt, nicht jedoch im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden  |x 0959  |y x  |z 17-01-18 
980 |2 151  |1 01  |b 1676086331  |h OLR-FBTIB  |k Es gilt deutsches Urheberrecht. Das Werk bzw. der Inhalt darf zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, konsumiert, gespeichert oder ausgedruckt, aber nicht im Internet bereitgestellt oder an Auenstehende weitergegeben werden. - German copyright law applies. The work or content may be downloaded, consumed, stored or printed for your own use but it may not be distributed via the internet or passed on to external parties.  |x 0546  |y z  |z 08-04-17 
980 |2 161  |1 01  |b 1676122850  |k Nach dem deutschen Urheberrecht darf das Werk bzw. der Inhalt zum eigenen Gebrauch kostenfrei heruntergeladen, konsumiert, gespeichert oder ausgedruckt, nicht jedoch im Internet bereitgestellt oder an Außenstehende weitergegeben werden  |x 0960  |y x  |z 08-04-17 
981 |2 23  |1 01  |r http://edok01.tib.uni-hannover.de/edoks/e01fn16/871644460.pdf 
981 |2 30  |1 01  |r https://edocs.tib.eu/files/e01fn16/871644460.pdf 
981 |2 70  |1 01  |y OALizenz  |r https://edocs.tib.eu/files/e01fn16/871644460.pdf 
982 |2 31  |1 01  |8 00  |a eBook GBV-FB-TIB 
982 |2 132  |1 01  |8 00  |a Forschungsberichte der TIB Hannover 
995 |2 23  |1 01  |a olr-FBTIB 
995 |2 30  |1 01  |a OLR-GBV-FB-TIB 
995 |2 31  |1 01  |a GBV-FB-TIB 
995 |2 132  |1 01  |a OLR-FBTIB 
995 |2 151  |1 01  |a OLR-FBTIB