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Entwicklung einer innovativen Nano-Imprint-Lithographie Plattform für die großformatige Nanostrukturierung : Teilprojekt: Rekombinationstechnologie zur Flächenskalierung von Nanostrukturen auf Basis von Step&Repeat Nanoimprint : Schlussbericht Verbundprojekt ANILP : Berichtszeitraum: 01.11.2013-31.10.2016 / Zuwendungsempfänger: Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mit beschränkter Haftung ; Autor: Dipl.-Ing. Florian Schlachter

PPN (Catalogue-ID): 890930171
Nebentitel: AMO GmbH Schlussbericht Verbundprojekt ANILP
Personen: Schlachter, Florian [VerfasserIn]
Cooperations/Conferences: Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik [Herausgebendes Organ]
Format: eBook eBook
Language: German
Mit deutscher und englischer Zusammenfassung
Published: [Aachen], Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mit beschränkter Haftung, [2016?]
Basisklassifikation: 52.78 Oberflächentechnik Wärmebehandlung
Subjects:

Lithografie

Lithografie

Formangabe: Forschungsbericht
Notes: Förderkennzeichen BMBF 01QE1318B. - Verbund-Nummer 01149693
Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden
Physical Description: 1 Online-Ressource (25 Seiten, 3,08 MB), Illustrationen.

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