schliessen

Filtern

 

Bibliotheken

Role of substrates morphology and chemistry in ALD HfO2 on Si(111)-H terminated surfaces as model / Zied Rouissi ; Dieter Schmeißer, Ehrenfried Zschech, Christian Pettenkofer

PPN (Catalogue-ID): 894978977
Nebentitel: Rolle der Substratmorphologie und –chemie bei der Atomlagenabscheidung HfO₂ auf einer Si(111)-H terminierten Oberfläche als Modellsystem
Personen: Rouissi, Zied
Schmeißer, Dieter [Akademischer betreuerIn]
Zschech, Ehrenfried [Akademischer betreuerIn]
Pettenkofer, Christian [Akademischer betreuerIn]
Format: eBook eBook
Language: English
Published: Cottbus, BTU Cottbus - Senftenberg, 2017
Hochschule: Dissertation, Cottbus, BTU Cottbus - Senftenberg, 2017
Basisklassifikation: 33.68
35.90
Subjects:

Atomlagenabscheidung / Schichtwachstum / Hafniumverbindungen / Aluminiumoxide / Kristallform / Rauigkeit / Diffusion / Rastertunnelmikroskopie

Formangabe: Hochschulschrift
Physical Description: 1 Online-Ressource

Similar Items

Vorhandene Hefte/Bände

more (+)

Informationen zur Verfügbarkeit werden geladen

Staff View
LEADER 06488cam a22015012 4500
001 894978977
003 DE-627
005 20190310080315.0
007 cr uuu---uuuuu
008 170802s2017 xx |||||om 00| ||eng c
015 |a 17,O08  |2 dnb 
016 7 |a 1136904441  |2 DE-101 
024 7 |a urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418  |2 urn 
035 |a (DE-627)894978977 
035 |a (DE-599)DNB1136904441 
035 |a (OCoLC)999089723 
035 |a (DE-101)1136904441 
040 |a DE-627  |b ger  |c DE-627  |e rakwb 
041 |a eng 
044 |c XA-DE-BB 
082 0 |a 530  |q DE-101  |2 23sdnb 
082 0 4 |a 530  |q DE-101 
084 |a 33.68  |2 bkl 
084 |a 35.90  |2 bkl 
100 1 |a Rouissi, Zied 
245 1 0 |a Role of substrates morphology and chemistry in ALD HfO2 on Si(111)-H terminated surfaces as model  |c Zied Rouissi ; Dieter Schmeißer, Ehrenfried Zschech, Christian Pettenkofer 
246 3 3 |a Rolle der Substratmorphologie und –chemie bei der Atomlagenabscheidung HfO₂ auf einer Si(111)-H terminierten Oberfläche als Modellsystem 
264 1 |a Cottbus  |b BTU Cottbus - Senftenberg  |c 2017 
300 |a 1 Online-Ressource 
336 |a Text  |b txt  |2 rdacontent 
337 |a Computermedien  |b c  |2 rdamedia 
338 |a Online-Ressource  |b cr  |2 rdacarrier 
502 |b Dissertation  |c Cottbus, BTU Cottbus - Senftenberg  |d 2017 
583 1 |z Langzeitarchivierung gewährleistet  |2 pdager 
655 7 |a Hochschulschrift  |0 (DE-588)4113937-9  |0 (DE-627)105825778  |0 (DE-576)209480580  |2 gnd-content 
689 0 0 |D s  |0 (DE-588)7712127-2  |0 (DE-627)632878339  |0 (DE-576)327310057  |a Atomlagenabscheidung  |2 gnd 
689 0 1 |D s  |0 (DE-588)4273432-0  |0 (DE-627)104173718  |0 (DE-576)210698535  |a Schichtwachstum  |2 gnd 
689 0 2 |D s  |0 (DE-588)4386044-8  |0 (DE-627)188382852  |0 (DE-576)211895482  |a Hafniumverbindungen  |2 gnd 
689 0 3 |D s  |0 (DE-588)4001590-7  |0 (DE-627)106396609  |0 (DE-576)208843426  |a Aluminiumoxide  |2 gnd 
689 0 4 |D s  |0 (DE-588)4287210-8  |0 (DE-627)10429177X  |0 (DE-576)210815035  |a Kristallform  |2 gnd 
689 0 5 |D s  |0 (DE-588)4128988-2  |0 (DE-627)104653507  |0 (DE-576)209606754  |a Rauigkeit  |2 gnd 
689 0 6 |D s  |0 (DE-588)4012277-3  |0 (DE-627)106349104  |0 (DE-576)208897755  |a Diffusion  |2 gnd 
689 0 7 |D s  |0 (DE-588)4252995-5  |0 (DE-627)104588071  |0 (DE-576)210527463  |a Rastertunnelmikroskopie  |2 gnd 
689 0 |5 (DE-627) 
700 1 |a Schmeißer, Dieter  |e akademischer betreuerin  |4 dgs 
700 1 |a Zschech, Ehrenfried  |e akademischer betreuerin  |4 dgs 
700 1 |a Pettenkofer, Christian  |e akademischer betreuerin  |4 dgs 
776 0 8 |i Erscheint auch als  |n Druck-Ausgabe  |a Rouissi, Zied  |t Role of substrates morphology and chemistry in ALD HfO2 on Si(111)-H terminated surfaces as model  |d Cottbus, 2017  |h ii, 144 Seiten  |w (DE-627)898776953 
856 4 0 |u http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418  |v 2017-08-02  |x Resolving-System  |3 Volltext 
856 4 0 |u http://d-nb.info/1136904441/34  |v 2017-08-02  |x Langzeitarchivierung Nationalbibliothek  |3 Volltext 
856 4 0 |u https://opus4.kobv.de/opus4-btu/frontdoor/index/index/docId/4241  |v 2017-08-02  |x Verlag  |z kostenfrei  |3 Volltext 
856 7 |u urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418  |2 urn 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_20 
912 |a SYSFLAG_1 
912 |a GBV_KXP 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_21 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_22 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_23 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_30 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_40 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_60 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_63 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_70 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_105 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_110 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_132 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_161 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_213 
912 |a GBV-ODiss 
912 |a GBV_ILN_293 
936 b k |a 33.68  |j Oberflächen  |j Dünne Schichten  |j Grenzflächen  |x Physik  |0 (DE-627)10640444X 
936 b k |a 35.90  |j Festkörperchemie  |0 (DE-627)106419293 
951 |a BO 
980 |2 20  |1 01  |b 170521178X  |x 0084  |y x  |z 03-08-17 
980 |2 21  |1 01  |b 1705226957  |x 0046  |y z  |z 03-08-17 
980 |2 22  |1 01  |b 1705242251  |h SUBolrd  |x 0018  |y xu  |z 03-08-17 
980 |2 23  |1 01  |b 1705254241  |h olr-d  |x 0830  |y x  |z 03-08-17 
980 |2 30  |1 01  |b 170526705X  |x 0104  |y z  |z 03-08-17 
980 |2 40  |1 01  |b 1705279201  |x 0007  |y xsn  |z 03-08-17 
980 |2 60  |1 01  |b 1705294596  |h OLRD  |x 0705  |y z  |z 03-08-17 
980 |2 63  |1 01  |b 1705304672  |h ORD  |x 3401  |y x  |z 03-08-17 
980 |2 70  |1 01  |b 1705313949  |x 0089  |y zdt  |z 03-08-17 
980 |2 105  |1 01  |b 1705416853  |x 0841  |y z  |z 03-08-17 
980 |2 110  |1 01  |b 1705327656  |x 3110  |y x  |z 03-08-17 
980 |2 132  |1 01  |b 1705341950  |h OLR-DISS  |x 0959  |y x  |z 03-08-17 
980 |2 161  |1 01  |b 1705357539  |h ORD  |x 0960  |y x  |z 03-08-17 
980 |2 213  |1 01  |b 1705382274  |h ORD  |x 0551  |y x  |z 03-08-17 
980 |2 293  |1 01  |b 1705401643  |h ORD  |x 3293  |y xf  |z 03-08-17 
981 |2 20  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 21  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 22  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 23  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 30  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 40  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 60  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 70  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 105  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 110  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 132  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 161  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 213  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
981 |2 293  |1 01  |r http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-42418 
983 |2 60  |1 01  |8 10  |a ho 
985 |2 20  |1 01  |a OLRD 
985 |2 110  |1 01  |a OLRD 
995 |2 22  |1 01  |a SUBolrd 
995 |2 23  |1 01  |a olr-d 
995 |2 60  |1 01  |a OLRD 
995 |2 63  |1 01  |a ORD 
995 |2 132  |1 01  |a OLR-DISS 
995 |2 161  |1 01  |a ORD 
995 |2 213  |1 01  |a ORD 
995 |2 293  |1 01  |a ORD 
998 |2 23  |1 01  |0 2017-08-03:08:44:41