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4.

MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications
by Korvink, Jan G.

Publisher: Berlin, Heidelberg, Springer-Verlag Berlin Heidelberg; Libraries: TUHH

2006
10.

Microsystem technology
by Menz, Wolfgang

Publisher: Weinheim, Wiley-VCH; Libraries: UHH TUHH

2001
11.

Mikrosystemtechnik für Ingenieure Dritte, vollständig überarbeitete und erweiterte Auflage
by Menz, Wolfgang

Publisher: Weinheim, Wiley-VCH; Libraries: UHH HAW HSU

2005
12.

Microsystem technology
by Menz, Wolfgang

Publisher: Weinheim, Wiley-VCH; Libraries: HSU TUHH

2001
1

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